[发明专利]多晶硅系统制氮制动风机用空气的处理方法无效
| 申请号： | 201110320447.3 | 申请日： | 2011-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN102425574A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 董永明;陈雷英;秦大报 | 申请（专利权）人： | 河北东明中硅科技有限公司 |
| 主分类号： | F04D29/70 | 分类号： | F04D29/70;B01D53/02 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 米文智 |
| 地址： | 052360 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 系统 制动 风机 空气 处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.多晶硅系统制氮制动风机用空气的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）将空气压缩至0.05～2MPa，再冷却至0～50℃，分离去掉游离水；
（2）将第（1）步得到的气体继续冷却至0～20℃，分离去掉冷凝水。
2.如权利要求1所述多晶硅系统制氮制动风机用空气的处理方法，其特征在于，在步骤（2）后有步骤（3）：将第（2）步得到的气体去除水、二氧化碳和碳氢化合物，再经分子筛吸附器吸附。
3.如权利要求1或2所述多晶硅系统制氮制动风机用空气的处理方法，其特征在于：（1）将空气压缩至0.4～0.9MPa，再冷却至20～45℃，分离去掉游离水；
（2）将第（1）步得到的气体继续冷却至2～8℃，分离去掉冷凝水。
4.如权利要求3所述多晶硅系统制氮制动风机用空气的处理方法，其特征在于：（1）将空气压缩至0.8MPa，再冷却至40℃，分离去掉游离水；
（2）将第（1）步得到的气体继续冷却至5℃，分离去掉冷凝水。
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