[发明专利]DES的加工工艺无效
申请号: | 201110321342.X | 申请日: | 2011-10-21 |
公开(公告)号: | CN102365003A | 公开(公告)日: | 2012-02-29 |
发明(设计)人: | 张俊 | 申请(专利权)人: | 江苏同昌电路科技有限公司 |
主分类号: | H05K3/26 | 分类号: | H05K3/26 |
代理公司: | 扬州市锦江专利事务所 32106 | 代理人: | 江平 |
地址: | 225200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | des 加工 工艺 | ||
【权利要求书】:
1.DES的加工工艺,其特征在于包括以下步骤:
1)将显影蚀刻去模经两道显影后,冲去污水;
2)采用溢流方式水洗后,吹干水分;
3)蚀刻处理;
4)以体积百分比浓度为3~5%的盐酸清洗;
5)洗涤;
6)退膜;
7)冲洗去除污水;
8)水洗;
9)以体积百分比浓度为5~7%的硫酸和过硫酸钠40~60g/l组成的混合酸液进行洗涤;
10)清洗。
2.根据权利要求1所述DES的加工工艺,其特征在于所述显影蚀刻去模为干模或湿模。
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