[发明专利]一种传感器U型氧化锆基体内电极涂覆装置及涂覆方法

权利要求书

1.一种传感器U型氧化锆基体内电极涂覆装置，包括支撑台(13)，通过升降装置(12)设于支撑台(13)一端的固定旋转治具(2)，所述固定旋转治具(2)与电机(1)输出轴连接，所述支撑台(13)另一端设有滑座(11)，滑座(11)上设有线型滑块(10)，所述线型滑块(10)上固定设有针筒(5)，针筒(5)通过管线水平设有针头(4)，所述针头(4)与旋转治具(2)相对应设置；所述针筒(5)通过软管(6)与微量气体控制器(7)连接，所述滑座(11)与控制器(8)电连接，控制器(8)控制线型滑块(10)左右滑动。

2.根据权利要求1所述的传感器U型氧化锆基体内电极涂覆装置，其特征在于：所述针筒(5)通过支架(9)固定于线型滑块(10)上。

3.根据权利要求1所述的传感器U型氧化锆基体内电极涂覆装置，其特征在于：所述控制器(8)设于支撑台(13)设有滑座(11)的一端外，所述微量气体控制器(7)设于控制器(8)上。

4.根据权利要求1所述的传感器U型氧化锆基体内电极涂覆装置，其特征在于：所述固定旋转治具(2)为吸附式固定旋转治具。

5.利用权利要求1所述的传感器U型氧化锆基体内电极涂覆装置进行内电极涂覆的涂覆方法，其特征在于，其步骤如下：

(1)将待涂覆的传感器U型氧化锆基体固定于固定旋转治具(2)上，传感器U型氧化锆基体开口端朝向针头(4)方向设置；

(2)将涂液放入针筒(5)中，启动控制器(8)，控制线型滑块(10)在滑座(11)上从右至左滑行，直至针头(4)进入传感器U型氧化锆基体开口端内，并靠近开口端内顶部；

(3)通过升降装置(12)调节固定旋转治具(2)的高度，使用针头(4)进一步靠近传感器U型氧化锆基体开口端内底部；

(4)启动微量气体控制器(7)，使针筒(5)内的涂液经针头(4)流出，同时启动电机(1)，使固定旋转治具(2)旋转，使涂液均匀涂布于开口端内壁上；

(5)通过控制器(8)使线型滑块(10)向右滑动，针头(4)移出开口端外；

(6)将涂覆有内电极的传感器U型氧化锆基体高温烧结。

6.根据权利要求5所述的涂覆方法，其特征在于：所述步骤(2)中，针头(4)与传感器U型氧化锆基体开口端内顶部之间的距离为2-3mm。

7.根据权利要求5所述的涂覆方法，其特征在于：所述步骤(2)中，针头(4)与传感器U型氧化锆基体开口端内顶部之间的距离为0.2-0.3mm。

8.根据权利要求5所述的涂覆方法，其特征在于：所述步骤(6)中，烧结温度为1000-1300℃，所述烧结时间为8-15小时。