[发明专利]激光扫描装置

权利要求书

1.一种激光扫描装置，包括：

激光输出单元，输出一激光光束；

扫描器，包括一扫描聚焦单元，该扫描聚焦单元使该激光光束聚焦且扫描一物件，该扫描器通过该扫描聚焦单元接收并输出照射于该物件的一可见光光束；

分光单元，使该激光光束穿透且反射该扫描器所输出的该可见光光束；

成像补偿单元，接收来自该分光单元所反射的该可见光光束，该可见光光束经该成像补偿单元后聚焦成像，该成像补偿单元补偿该可见光光束经过该扫描聚焦单元所形成的一像差；

检测单元，接收经过该成像补偿单元的该可见光光束而输出一检测信号；以及

控制单元，接收该检测信号，且依据该可见光光束的波长、该扫描聚焦单元与该成像补偿单元调整该检测信号。

2.如权利要求1所述的激光扫描装置，其中，该激光光束的波长为一百纳米(nanometer，nm)至一百微米(micrometer，um)。

3.如权利要求1所述的激光扫描装置，其中，该扫描聚焦单元包括至少一扫描元件与至少一透镜。

4.如权利要求1所述的激光扫描装置，其中，该成像补偿单元包括至少一正透镜组。

5.如权利要求4所述的激光扫描装置，其中，该正透镜组满足下列公式：

r₂-r₁＞r₁.r₂

其中，r₁为该正透镜组的一第一曲率半径，r₂为该正透镜组的一第二曲率半径。

6.如权利要求4所述的激光扫描装置，该正透镜组选自球面镜(spherical lens)、非球面镜(aspheric lens)、胶合透镜(doublet lens)及其组合的群组。

7.如权利要求4所述的激光扫描装置，其中，该成像补偿单元还包括至少一负透镜组。

8.如权利要求7所述的激光扫描装置，其中，该负透镜组满足下列公式：

r₃-r₄≤r₃.r₄

其中，r₃为该负透镜组的一第三曲率半径，r₄为该负透镜组的一第四曲率半径。

9.如权利要求7所述之激光扫描装置，其中当该雷射扫描装置使该物件的一影像离焦时，调整该检测单元、该负透镜组与该正透镜组其中之一的配置位置以使该物件的该影像聚焦。

10.如权利要求7所述之激光扫描装置，其中该负透镜组与该正透镜组之间具有一距离，该距离依据该物件的不同扫描位置进行调整。

11.如权利要求1所述的激光扫描装置，其中，该物件配置于一工作平台上，该激光扫描装置扫描该工作平台上的该物件。

12.如权利要求1所述的激光扫描装置，其中，该扫描聚焦单元包括二扫描元件，每一该扫描元件具有一法线，该些法线相互正交。

13.如权利要求1所述的激光扫描装置，其中，该检测单元为一电荷耦合装置。

14.如权利要求1所述的激光扫描装置，其中，该控制单元依据该可见光光束的波长、该激光光束的波长、该扫描聚焦单元与该成像补偿单元间的关系而输出一模拟信号，该激光扫描装置进行一实作程序而使该控制单元获得一实作信号，该控制单元通过该模拟信号与该实作信号计算出一相对误差而获得一误差信号，该控制单元依据该误差信号调整该检测信号。