[发明专利]硅片清洗机的漂洗槽

说明书

技术领域

本发明涉及一种硅片清洗机的漂洗槽，尤其涉及一种节水型溢流式的硅片清洗机漂洗槽。

背景技术

目前使用的硅片清洗机漂洗槽分为两部分，前半部分包括依次布置的五个漂洗槽，后半部分包括依次布置的两个漂洗槽，前半部分与后半部分之间依次布置两浸润槽，每两个漂洗槽为一个独立工作单元，七个漂洗槽共有四个进水口与出水口，使得硅片清洗机用水量较大，造成了水资源的浪费。

发明内容

本发明的目的在于解决上述问题，提供一种硅片清洗机的漂洗槽，其采用溢流式结构，只需一个进水口与出水口，具有结构简单、节约用水量的优点。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现：

一种硅片清洗机的漂洗槽，包括前后两部分，前半部分依次布置五个漂洗槽，后半部分依次布置两个漂洗槽，所述前半部分最外侧的漂洗槽I与进水口相连，且漂洗槽I与前半部分最内侧的漂洗槽V之间、后半部分内侧漂洗槽VI与外侧漂洗槽VII之间均采用由高到低的阶梯式结构，所述漂洗槽V与漂洗槽VI通过一个溢流管道相连通，所述漂洗槽VII上开设有排污口，所述溢流管道上安装有蓄水槽，所述蓄水槽中安装有水位控制器，水位控制器连接有管道泵。

所述水位控制器包括高水位控制器和低水位控制器。

所述漂洗槽中均安装有物料感应器。

本发明的有益效果为：漂洗槽I与前半部分最内侧的漂洗槽V之间、后半部分内侧漂洗槽VI与外侧漂洗槽VII之间均采用由高到低的阶梯式结构，使得漂洗槽之间为溢流模式，无需增加管道；通过将漂洗槽V与漂洗槽VI用一个溢流管道相连通，即实现前半部分与后半部分的连通，使得只需要一个进水口与出水口；通过设置水位控制器，当蓄水槽中的水位达到设定的高水位时，高水位控制器控制管道泵进行排水，反之，低水位控制器控制管道泵停止排水，具有自动化程度高的优点，对比现有技术，该漂洗槽具有结构简单、节约用水量的优点。

附图说明

下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

图1为本发明所述的硅片清洗机的漂洗槽的结构示意图。

图中：

1、漂洗槽I；2、漂洗槽V；3、洗槽VI；4、漂洗槽VII；5、溢流管道；6、蓄水槽；7、管道泵；8、进水口；9、排污口。

具体实施方式

如图1所示，于本实施例中，本发明所述的硅片清洗机的漂洗槽，包括前后两部分，前半部分依次布置五个漂洗槽，后半部分依次布置两个漂洗槽，前半部分最外侧的漂洗槽I1与进水口8相连，且漂洗槽I1与前半部分最内侧的漂洗槽V2之间、后半部分内侧漂洗槽VI3与外侧漂洗槽VII4之间均采用由高到低的阶梯式结构，漂洗槽V2与漂洗槽VI3通过一个溢流管道5相连通，漂洗槽VII4上开设有排污口9，溢流管道5上安装有蓄水槽6，蓄水槽6中安装有水位控制器，水位控制器连接有管道泵7，水位控制器包括高水位控制器和低水位控制器。

漂洗槽I1与前半部分最内侧的漂洗槽V2之间、后半部分内侧漂洗槽VI3与外侧漂洗槽VII4之间均采用由高到低的阶梯式结构，使得漂洗槽之间为溢流模式，无需增加管道；通过将漂洗槽V2与漂洗槽VI3用一个溢流管道5相连通，即实现前半部分与后半部分的连通，使得只需要一个进水口8与排污口9；通过设置水位控制器，当蓄水槽6中的水位达到设定的高水位时，高水位控制器控制管道泵7进行排水，反之，低水位控制器控制管道泵7停止排水，具有自动化程度高、结构简单、节约用水量的优点

每个漂洗槽中均安装有物料感应器，当有硅片篮筐进入漂洗槽时，物料感应器将信号传送至控制系统，控制清洗机进入工作状态，当硅片篮筐离开漂洗槽时，物料感应器将信号传送至控制系统，控制清洗机进入待机状态，进一步节约了用水、用电量。