[发明专利]一种折反式逆补偿器

权利要求书

1.一种折反式逆补偿器，其特征在于包括：干涉仪、透镜、负透镜和反射球面镜，其中：

在干涉仪和透镜之间设置有被标定的非球面零检测补偿器；

在反射球面镜和透镜之间设置有负透镜，透镜用于校正高级球差，负透镜用于产生定量球差；

光线两次通过负透镜和透镜后，透镜和透镜产生的球差之和与非球面零检测补偿器的理论球差大小相等符号相反；干涉仪发出的单波长发散球面波，经过非球面零检测补偿器后形成了发散球面波，该带有球差的发散球面波依次通过透镜、负透镜到达反射球面镜，光束经过反射球面镜反射后，第二次通过负透镜和透镜，并通过非球面零检测补偿器后到达干涉仪，通过干涉仪对非球面零检测补偿器的系统像差进行检测。

2.根据权利要求1所述的折反式逆补偿器，其特征在于：透镜的球差系数S₂满足：

S2=I1L1sinU1(sinI1-sinI1′)(sinI1′-sinU1)cos12(I1-U1)cos12(I1′+U1)cos12(I1+I1′)]]>

+naI2L2sinU2(sinI2-sinI2′)(sinI2′-sinU2)cos12(I2-U2)cos12(I2′+U2)cos12(I2+I2′)]]>

=-S0/2-S3]]>

式中S₀为非球面零检测补偿器的球差系数；S₃为负透镜的球差系数，I₁、I′₁、U₁、L₁、分别为光线对于透镜第一面的入射角、折射角、物方孔径角、物方截距；

式中n_a为透镜的折射率；I₂、I′₂、U₂、L₂分别为光线对于透镜第二面的入射角、折射角、物方孔径角、物方截距；

I1=arcsin(L1-r1r1sin(U1)),]]>

I1′=arcsin(1nasinI1),]]>

U₂＝U₁+I₁-I′₁，

L2=r1+r1sinI1′sinU1′-d1,]]>

I2=arcsin(L2-r2r2sin(U2)),]]>

I′₂＝arcsin(n_a×sin(I₂))；

式中：r₁为透镜第一面的半径；U′₁为光线对于透镜第一面的像方孔径角；d₁为透镜的厚度；r₂为透镜第二面的半径。