[发明专利]具有能量收集器件的传感器

权利要求书

1.一种器件，包括：

基板；

传感器元件，连接至所述基板并且包括板件，所述板件相对于所述基板可移动；以及

能量收集器件，所述能量收集器件形成在所述传感器元件的所述板件上。

2.根据权利要求1所述的器件，其中，所述能量收集器件包括形成在所述板件上的线圈，

并且所述器件进一步包括：永磁体，被定位成使磁场通过所述线圈；控制器，适于控制使用由所述能量收集器件收集的能量的至少一部分给所述器件供电，

其中，所述能量收集器件适于使用所述板件的振動模式收集能量。

3.根据权利要求1所述的器件，所述传感器元件是磁场传感器，所述传感器元件是具有响应于所述板件的运动进行电容检测的洛伦兹力磁场传感器。

4.根据权利要求1所述的器件，所述传感器元件是运动传感器。

5.根据权利要求1所述的器件，所述传感器元件是具有响应于所述板件的运动进行电容检测的运动传感器。

6.一种系统，包括：

基板；

板件，相对于所述基板可移动，可移动板件适于响应于环境改变而移动；

能量收集器件，形成在可移动板件上；以及

控制器，适于控制使用由所述能量收集器件收集的能量的至少一部分给传感器系统供电。

7.根据权利要求6所述的系统，可移动板件形成在所述基板上，并且所述控制器形成在该相同的基板上，可移动板件形成在所述控制器之上，所述系统进一步包括：将可移动板件连接至所述基板的弹性连接件，并且所述能量收集器件包括形成在可移动板件上的经由所述弹性连接件连接至所述控制器的螺旋形线圈；以及永磁体，被定位成使磁场通过所述螺旋形线圈。

8.根据权利要求6所述的系统，所述能量收集器件适于使用可移动板件的振动模式收集能量，

所述系统进一步包括：电极，用于响应于所述可移动板件的运动进行电容检测，

其中，可移动板件进一步包括线环并且形成磁场传感器；或者

可移动板件进一步包括在所述电极之间从所述可移动板件延伸的指状物，可移动板件以及电极形成运动传感器。

9.一种制造器件的方法，包括：

在基板之上形成可移动板件；

在所述可移动板件中形成能量收集线圈；以及

在所述可移动板件周围形成电极，所述电极适于感应所述可移动板件的运动。

10.根据权利要求9所述的方法，进一步包括：

形成至少一个弹簧或铰链，以将所述可移动板件连接至所述基板；以及

形成将所述能量收集线圈连接至形成在所述基板上的接合焊盘或控制电路中的至少一个上的布线。