[发明专利]板弹簧、平台系统以及光刻设备

权利要求书

1.一种板弹簧，配置用以安装在两个物体之间并且配置成在两个正交方向上具有高的刚性且在其他自由度上具有相对低的刚性，所述板弹簧具有基本上板形主体，所述板弹簧包括：

第一安装位置，位于板形主体的中心或所述中心附近以将板弹簧安装至所述两个物体中的第一个；

一个或更多个第二安装位置，位于板形主体的周围或所述周围附近以将板弹簧安装至所述两个物体中的第二个；和

在所述板形主体中的细长的凹槽和/或狭缝，布置在所述第一安装位置和所述第二安装位置之间，所述凹槽和/或狭缝在所述两个正交方向的平面内沿至少两个非正交方向延伸。

2.根据权利要求1所述的板弹簧，其中所述细长的凹槽和/或狭缝是直线的。

3.根据权利要求1所述的板弹簧，其中所述板形主体具有矩形形状，其中矩形主体的居中部分限定第一安装位置，其中在所述主体的相对侧处的两个侧部分限定第二安装位置，并且其中在所述居中部分和各个相对的侧部分之间设置第一和第二中间部分。

4.根据权利要求3所述的板弹簧，其中第一直线凹槽布置在居中部分和每个中间部分之间以及中间部分和侧部分之间，其中所述直线凹槽彼此平行地延伸，并且其中第二直线凹槽以与第一直线凹槽的方向成不平行且不垂直的角度布置在每个中间部分上。

5.根据权利要求4所述的板弹簧，其中所述第二直线凹槽中每个在所述中间部分中的一个上从第一直线凹槽在所述侧部分和所述中间部分之间的端部延伸至第一直线凹槽在所述中间部分和所述居中部分之间的端部，其中第一直线凹槽在所述侧部分和所述中间部分之间的端部与第一直线凹槽在所述中间部分和所述居中部分之间的端部布置在所述主体的相对侧处。

6.根据权利要求1所述的板弹簧，其中所述凹槽形成相对于第一安装位置沿径向延伸的轮辐元件。

7.根据权利要求6所述的板弹簧，其中轮辐元件的每一个的周边由两个直线凹槽或狭缝和以两个不同的径向间距相对于第一安装位置基本上沿切向延伸的两个其它的凹槽或狭缝限定。

8.根据权利要求6所述的板弹簧，其中所述板弹簧包括至少十二个轮辐元件。

9.根据权利要求6所述的板弹簧，其中所述轮辐元件在围绕第一安装位置的360度范围上大体分开。

10.根据权利要求6所述的板弹簧，其中所述一个第二安装位置或更多个第二安装位置围绕主体的周围延伸。

11.一种平台系统，包括第一平台部分和第二平台部分，其中所述第一平台部分使用一个或更多个根据权利要求1所述的板弹簧安装在所述第二平台部分上，其中所述第一平台部分连接至每个板弹簧的第一安装位置，并且其中一个或更多个第二安装位置连接至第二平台部分。

12.根据权利要求11所述的平台系统，其中所述平台系统包括位于所述第一平台部分和所述第二平台部分之间的三个板弹簧，其中所述三个板弹簧沿三个不同的方向安装，由此导致在恰好六个自由度上在所述第一平台部分和所述第二平台部分之间的刚性安装。

13.根据权利要求11所述的平台系统，其中所述第一平台部分是反射镜块并且第二平台部分是所述平台的电机的一部分。

14.根据权利要求13所述的平台系统，其中所述第一安装位置配置用于连接至第一平台部分的螺栓或类螺栓连接，并且其中所述一个或更多个第二安装位置配置用于连接至第二平台部分的粘结连接。

15.一种光刻设备，包括：

照射系统，配置成调节辐射束；

支撑结构，构造用以支撑图案形成装置，所述图案形成装置能够将图案在辐射束的横截面上赋予辐射束以形成图案化的辐射束；

衬底台，构造用以保持衬底；和

投影系统，配置成将图案化辐射束投影到衬底的目标部分上，

其中所述光刻设备包括根据权利要求12所述的平台系统。