[发明专利]一种光瞳均匀性补偿装置

权利要求书

1.一种光瞳均匀性补偿装置，其特征在于，包括侧壁和多个补偿单元，每个补偿单元包括第一驱动器、第一驱动机构、第一遮光组件和第二遮光组件；其中：在侧壁上设置有多个导轨槽；多个补偿单元沿着侧壁外侧均匀分布，且第一遮光组件位于第一驱动器和第二遮光组件之间，第一遮光组件和第二遮光组件的另一端穿过导轨槽并伸入照明系统的照明光束外延中，补偿单元中的第一遮光组件和第二遮光组件在第一驱动器和第一驱动机构的驱动下，沿着导轨槽方向即光轴方向独立运动，改变第一遮光组件和第二遮光组件与光瞳共轭面之间的距离。

2.根据权利要求1所述的光瞳均匀性补偿装置，其特征在于，还包括上安装基板、下安装基板，所述第一驱动器固接于上安装基板，所述第一驱动机构的一端与第一驱动器通过联轴器方式连接；第一驱动机构的另一端以轴承连接方式连接于下安装基板。

3.根据权利要求1所述的光瞳均匀性补偿装置，其特征在于：所述第一遮光组件包括第二驱动器、第二驱动机构、第一遮光元件和第一基板，第一基板的一端固定连接于第一驱动机构上的螺母或运动部件上，第一基板的另一端穿过导轨槽插入到侧壁内部；第二驱动器、第二驱动机构和第一遮光元件位于侧壁内部；第二驱动器固接在第一基板上；第二驱动机构一端与第二驱动器通过联轴器方式连接，第二驱动机构另一端以轴承方式连接于第一基板上，第一遮光元件的一端固定连接第二驱动机构的螺母或运动部件上，第一遮光元件另一端以导轨连接方式或滑动方式连接于第一基板，第一遮光元件在第二驱动器和第二驱动机构的驱动作用下沿照明光场径向运动调节第一遮光元件插入照明光束的深度，使得第一遮光元件能够沿照明光场径向伸入或抽出照明系统的照明光束外延。

4.根据权利要求1所述的光瞳均匀性补偿装置，其特征在于：所述第二遮光组件包括第三驱动器、第三驱动机构、第二遮光元件和第二基板，第二基板的一端固定连接于第一驱动机构上的螺母或运动部件上，第二基板的另一端穿过导轨槽插入到侧壁内部；第三驱动器、第三驱动机构和第二遮光元件位于侧壁内部；第三驱动器固接在第二基板上；第三驱动机构一端与第三驱动器通过联轴器方式连接，第三驱动机构另一端以轴承方式连接于第二基板上，第二遮光元件的一端固定连接第三驱动机构的螺母或运动部件上，第二遮光元件另一端以导轨连接方式或滑动方式连接于第二基板，第二遮光元件在第三驱动器和第三驱动机构的驱动作用下沿照明光场径向运动调节第二遮光元件插入照明光束的深度，使得第二遮光元件能够沿照明光场径向伸入或抽出照明系统的照明光束外延。

5.根据权利要求1所述的光瞳均匀性补偿装置，其特征在于，所述的补偿单元包含2个或2个以上遮光组件。

6.根据权利要求3和4所述的光瞳均匀性补偿装置，其特征在于，所述的第一遮光元件在第二驱动器和第二驱动机构的驱动作用下沿照明光场径向运动调节插入照明光场的深度；所述的第二遮光元件在第三驱动器和第三驱动机构的驱动作用下沿照明光场径向运动调节插入照明光场的深度，所述调节第一遮光元件和第二遮光元件的插入深度及第一遮光组件和第二遮光组件与照明系统光瞳共轭面距离来改变照明光瞳处的光强分布，实现对照明系统光瞳不均匀性的有效补偿。

7.根据权利要求3所述的光瞳均匀性补偿装置，其特征在于，所述第一遮光元件设置为不透光的杆状结构，第一遮光元件对插入照明光束的所有区域都有局部遮挡效应，所述第二遮光元件设置为具有部分区域透光和部分区域不透光的杆状结构，第二遮光元件插入照明光束时，只有不透明区域对照明光束有局部遮挡效应。

8.根据权利要求3所述的光瞳均匀性补偿装置，其特征在于，所述第一遮光元件的结构为针状立体结构或三角形立体结构，所述第二遮光元件的结构为针状立体结构或三角形立体结构。

9.根据权利要求1至8所述的光瞳均匀性补偿装置，还能沿光轴方向设置一个转动机构，使得光瞳均匀性补偿装置绕光轴旋转，补偿由于有限个遮光组件而导致的位置离散效应。