[发明专利]一种超音速等离子体喷涂技术制备Y2O3涂层的方法

权利要求书

1.一种超音速等离子体喷涂技术制备Y₂O₃涂层的方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤（1），选择纯度大于99.95％的Y₂O₃粉末；

步骤（2），对被喷涂的基材表面进行预处理；

步骤（3），通过超音速等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出Y₂O₃涂层。

2.如权利要求1所述的超音速等离子体喷涂技术制备Y₂O₃涂层的方法，其特征在于，所述步骤（1）中的Y₂O₃粉末的粒度为5～60μm。

3.如权利要求1所述的超音速等离子体喷涂技术制备Y₂O₃涂层的方法，其特征在于，所述步骤（2）中对被喷涂的基材表面进行预处理，具体包括如下步骤：对被喷涂的基材表面进行喷砂处理，并用丙酮清洗。

4.如权利要求3所述的超音速等离子体喷涂技术制备Y₂O₃涂层的方法，其特征在于，所述喷砂处理采用的喷砂材料为白刚玉，喷砂粒度为50～100μm。

5.如权利要求1所述的超音速等离子体喷涂技术制备Y₂O₃涂层的方法，其特征在于，所述步骤（3）中超音速等离子体喷涂设备使用的离子气体为Ar和He，或Ar和H₂。

6.如权利要求5所述的超音速等离子体喷涂技术制备Y₂O₃涂层的方法，其特征在于，当所述离子气体为Ar和He时，Ar气体的流量为3-5m³/h，He气体的流量为0.5～1 m³/h；当所述离子气体为Ar和H₂时，Ar气体的流量为3-5m³/h，H₂气体的流量为0.2～0.6m³/h。

7.如权利要求1所述的超音速等离子体喷涂技术制备Y₂O₃涂层的方法，其特征在于，所述步骤（3）中超音速等离子体喷涂设备的电弧电压为100～200V，电弧电流为300～500A，送粉速度为15～100g/min，送粉方式为内送粉，喷涂距离为60～200mm。