[发明专利]光伏器件的金属触点及其低温制造工艺

权利要求书

1.一种在光伏器件上形成金属触点的方法，包括：

在光伏电池的吸收层上沉积钯层；

在所述钯层上沉积锗层；

在所述锗层上沉积金属覆盖层；并且

将所述光伏电池加热到约20℃至约275℃范围内的温度，以形成布置在所述吸收层和所述金属覆盖层之间的钯锗合金。

2.如权利要求1所述的方法，其中沉积所述金属覆盖层包括：

在所述锗层上沉积粘附层；并且

在所述粘附层上沉积导电层。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述加热进行约5分钟至约60分钟范围内的时间段。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述温度在约150℃至约275℃的范围内，并且所述加热进行至少约30秒的时间段。

5.如权利要求3所述的方法，其中所述温度在约100℃至约150℃的范围内，并且所述加热进行约5分钟至约60分钟范围内的时间段。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述温度在约20℃至约175℃的范围内，并且所述加热持续约5分钟至约60分钟范围内的时间段。

7.如权利要求1所述的方法，其中所述钯层具有约至约范围内的厚度，并且在沉积工艺期间，所述钯层在约20℃至约200℃范围内的温度下被沉积。

8.如权利要求1所述的方法，其中所述锗层具有约至约范围内的厚度，并且在沉积工艺期间，所述锗层在约20℃至约200℃范围内的温度下被沉积。

9.如权利要求2所述的方法，其中所述粘附层包含钛或钛合金，且具有至少约的厚度。

10.如权利要求2所述的方法，其中所述导电层包含金或金合金，且具有至少约的厚度。

11.如权利要求1所述的方法，其中所述光伏电池的吸收层包含n-型砷化镓材料。

12.如权利要求11所述的方法，其中所述金属触点布置在所述光伏电池的背面上。

13.一种在光伏器件上形成金属触点的方法，包括：

在光伏电池的吸收层上沉积钯层；

在所述钯层上沉积锗层；

在所述锗层上沉积粘附层；

在所述粘附层上沉积导电层；并且

将所述光伏电池加热到约150℃至约275℃范围内的温度，持续至少0.5分钟的时间段，以形成布置在所述吸收层和所述粘附层之间的钯锗合金。

14.一种布置在光伏器件上的金属触点，包括：

钯锗合金层，其布置在光伏电池的吸收层上；及

金属覆盖层，其布置在所述钯锗合金层上。

15.如权利要求14所述的金属触点，其中所述金属覆盖层包含：

粘附层，其布置在所述钯锗合金层上；及

导电层，其布置在所述粘附层上。

16.如权利要求15所述的金属触点，其中所述粘附层包含钛。

17.如权利要求15所述的金属触点，其中所述导电层包含金。

18.如权利要求14所述的金属触点，其中所述钯锗合金层具有约至约范围内的厚度。

19.如权利要求18所述的金属触点，其中所述钯锗合金层的厚度在约至约的范围内。

20.如权利要求15所述的金属触点，其中所述粘附层具有至少约的厚度。

21.如权利要求15所述的金属触点，其中所述导电层具有至少约的厚度。

22.如权利要求14所述的金属触点，其中所述光伏电池的吸收层包含n-型砷化镓材料。

23.如权利要求14所述的金属触点，其中所述金属触点布置在所述光伏电池的背面上。