[发明专利]形状测定传感器

权利要求书

1.一种形状测定传感器，该形状测定传感器用于测定检查对象物的表面形状，其中，该形状测定传感器具有：

探针，其被支承为能够沿自身的轴方向滑动，通过沿所述轴方向进行滑动来追踪所述检查对象物的表面形状；

轴承部，其将所述探针支承为能够沿所述轴方向滑动；以及

探针保持机构，其能够将所述探针切换为定位保持在其滑动范围内的中间部的期望位置的第一状态和不干涉所述探针的滑动的第二状态。

2.根据权利要求1所述的形状测定传感器，其中，

所述探针保持机构具有主体侧卡定部，该主体侧卡定部卡定设在所述探针上的轴侧卡定部，

所述探针保持机构通过与所述轴方向平行地移动，对所述第一状态和所述第二状态进行切换。

3.根据权利要求1所述的形状测定传感器，其中，

向所述轴承部与所述探针之间供给流体，

所述探针保持机构通过控制所述流体的供给，对所述第一状态和所述第二状态进行切换。