[发明专利]太阳能电池RIE工艺温度补偿方法

权利要求书

1.一种太阳能电池RIE工艺温度补偿方法，其特征是：具体步骤如下：

a)每次作业之前通过热电偶或红外线温度侦测仪侦测基板温度；

b)此温度值将反馈至操作系统，系统根据温度值计算出实际工艺时间，工 艺时间计算公式如下：

T＝T₀+a*ln(T₁)+b；

T：补偿后的工艺时间；

T₀：设定工艺时间；

T₁：基板温度；

a和b：常数，根据收集的温度与工艺时间数据计算出；

c)设备工作时将以补偿后的工艺时间为实际工艺时间。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池RIE工艺温度补偿方法，其特征是： 根据收集的温度与工艺时间数据计算出a和b产生的方法为：

假设基板温度T₁＝X₁时，根据实际的反射率结果手动调整工艺时间，当反射 率达到要求时，得到实际工艺时间为Y₁，将X1和Y1带入公式得到公式1：

Y₁＝T₀+a*X₁+b

按同样方法可得到当基板温度为X₂时的实际工艺时间Y₂，带入公式可得到 公式2：

Y₂＝T₀+a*X₂+b

根据这两个公式计算出a，b值。