[发明专利]高频探测结构

权利要求书

1.一种用于晶圆级测试的探针卡，包括：

空间转换器，所述空间转换器中置入电源线，接地线，和信号线，其中所述间隔变压器包括多条导线，所述导线具有在第一表面上的第一间距和在第二表面上的第二间距，所述第二间距基本上小于所述第一间距；

印刷电路板，将所述印刷电路板接近所述空间转换器的所述第一表面配置；以及

电源层，所述电源层设置在所述空间转换器的所述第一表面上，并且将所述电源层图案化，使所述空间转换器的所述电源线和所述接地线与所述印刷电路板连接。

2.根据权利要求1所述的探针卡，其中所述电源层包括铜箔。

3.根据权利要求1所述的探针卡，还包括被配置成使所述空间转换器的所述信号线与所述印刷电路板连接的焊球。

4.根据权利要求1所述的探针卡，还包括设置在所述印刷电路板上的额外的电源层，将所述额外的电源层图案化，使所述额外的电源层与所述空间转换器的所述电源线和所述接地线连接。

5.根据权利要求1所述的探针卡，还包括形成在所述空间转换器上并且与所述空间转换器的所述电源线和所述接地线连接的高频匹配电路。

6.根据权利要求1所述的探针卡，还包括设置在所述空间转换器和所述印刷电路板之间的中介层，所述中介层用于将所述空间转换器的所述电源线和所述接地线与所述印刷电路板连接。

7.根据权利要求6所述的探针卡，还包括柔性薄膜电路，所述柔性薄膜电路具有：设置在所述印刷电路板和所述中介层之间的第一端；和设置在所述空间转换器和所述中介层之间的第二端。

8.根据权利要求6所述的探针卡，还包括柔性薄膜电路，所述柔性薄膜电路具有：设置在所述空间转换器和所述中介层之间的第一端；和设置在所述印刷电路板的顶表面上的第二端。

9.一种用于晶圆级测试的探针卡，包括：

空间转换器，所述空间转换器中置入了电源线，接地线，和信号线，其中所述间隔变压器包括具有第一间距的第一表面和具有第二间距的第二表面，所述第二间距基本上小于所述第一间距；

印刷电路板，所述印刷电路板配置为接近所述空间转换器的所述第一表面；以及

第一电源层，所述第一电源层设置在所述空间转换器的所述第一表面上，并且图案化所述第一电源层，使所述电源线和所述接地线与所述印刷电路板连接；以及

第二电源层，所述第二电源层设置在所述印刷电路板的表面上并且被图案化，使所述空间转换器的所述电源线和所述接地线与所述印刷电路板连接，其中所述第二电源层与所述第一电源层接合。

10.一种晶圆测试系统，包括：

被设计用于测试晶圆的探针卡，所述探针卡包括：

其内置入了电源线、接地线、和信号线的空间转换器，其中所述空间转换器包括多条导线，所述导线具有在第一表面上的第一间距和在第二表面上的第二间距，所述第二间距基本上小于所述第一间距，

配置在接近所述空间转换器的所述第一表面的印刷电路板；和

设置在所述空间转换器的所述第一表面上的第一电源层，所述第一电源层被图案化，使所述电源线和所述接地线与所述印刷电路板连接；

晶圆检测器，所述晶圆检测器设计成在晶圆测试过程中固定待测试的晶圆和控制所述探针卡；和

通过连接电缆与所述探针卡连接的测试仪。