[发明专利]不含氰化物的银电镀液有效
申请号: | 201110331863.3 | 申请日: | 2011-09-21 |
公开(公告)号: | CN102409373A | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
发明(设计)人: | M·克劳斯;W·张-伯格林格 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
主分类号: | C25D3/46 | 分类号: | C25D3/46 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 郭辉 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氰化物 电镀 | ||
1.一种溶液,该溶液包含一种或多种银离子源、选自乙内酰脲、乙内酰脲衍生物、琥珀酰亚胺和琥珀酰亚胺衍生物的一种或多种络合剂,选自二烷基硫化物和二烷基二硫化物的一种或多种有机硫化物,以及一种或多种吡啶基丙烯酸,该溶液不含氰化物。
2.权利要求1的溶液,其中该吡啶基丙烯酸选自3-(2-吡啶基)丙烯酸、顺式-3-(3-吡啶基)丙烯酸、3-(4-吡啶基)丙烯酸、3-(6-苯基-吡啶基)丙烯酸、反式-3-(3-吡啶基)丙烯酸和z-2-氟-3-(3-吡啶基)丙烯酸。
3.权利要求1的溶液,其中该乙内酰脲衍生物选自乙内酰脲、1-甲基乙内酰脲、1,3-二甲基乙内酰脲、5,5-二甲基乙内酰脲、1-甲醇-5,5-二甲基乙内酰脲和5,5-二苯乙内酰脲。
4.权利要求1的溶液,其中取代的二烷基硫化物是β-硫代二烷醇。
5.一种方法,包括:
a)提供一种溶液,该溶液包含一种或多种银离子源,选自乙内酰脲、乙内酰脲衍生物、琥珀酰亚胺和琥珀酰亚胺衍生物的一种或多种络合剂,选自二烷基硫化物和二烷基二硫化物的一种或多种有机硫化物,和一种或多种吡啶基丙烯酸,该溶液不含氰化物;
b)将基底接触该溶液;以及
c)在该基底上电镀银。
6.权利要求5的方法,其中电流密度等于或大于5A/dm2。
7.权利要求6的方法,其中电流密度为6A/dm2到15A/dm2。
8.权利要求5的方法,其中溶液温度是30℃及更大。
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