[发明专利]一种湿法洗净装置

权利要求书

1.一种湿法洗净装置，其特征在于，包括：可编程序逻辑控制器、液位传感器、液位传感器采样管路和洗净槽；所述洗净槽内设有H₂O、HF、HNO₃的进入管路，该进入管路上设有开关控制阀和气动阀，该气动阀由可编程序逻辑控制器控制；所述可编程序逻辑控制器与液位传感器连接；所述液位传感器采样管路包括HF、HNO₃和H₂O液位传感器采样管路，所述液位传感器采样管路的管口位于洗净槽内；当液位到达液位传感器采样管路的管口位置时，液位传感器闭合，同时给可编程序逻辑控制器信号，可编程序逻辑控制器控制相应气动阀关闭，停止该路液体的供应；所述HF液位传感器采样管路的管口到洗净槽底部的距离为300mm；所述HNO₃液位传感器采样管路的管口到洗净槽底部的距离为200mm；所述H₂O液位传感器采样管路的管口到洗净槽底部的距离为100mm。

2.如权利要求1所述的湿法洗净装置，其特征在于，所述洗净装置的刻蚀条件比例为：HF∶HNO₃∶H₂O＝1∶1∶1，上述比例指体积比。

3.如权利要求1所述的湿法洗净装置，其特征在于，所述液位传感器采样管路上设有过滤器。

4.如权利要求1所述的湿法洗净装置，其特征在于，所述开关控制阀为手动阀，该手动阀的手柄顺时针旋转到底为关的状态，逆时针旋转到底为开的状态，该手动阀是H₂O、HF、HNO₃进入设备的控制阀。

5.如权利要求1所述的湿法洗净装置，其特征在于，所述洗净槽底部还设有排液管路，排液管路上还设有气动阀，所述气动阀由可编程序逻辑控制器控制；当排液时，所述可编程序逻辑控制器控制相关排液管路上的气动阀打开进行排液。

6.如权利要求1或5所述的湿法洗净装置，其特征在于，所述气动阀由可编程序逻辑控制器控制，以压缩空气为驱动源。