[发明专利]利用法尔贴效应的MEMS角速度传感器的温度稳定性能保障的有源恒温控制装置及方法

权利要求书

1.MEMS角速度传感器的放置感应角速度感应微小机械的密闭空间的利用法尔贴效应的冷却片进行温度变化的控制方法。是同时监视放置感应角加速度感应微小机械的密闭空间内及MEMS角速度传感器外的环境温度，同时参考MEMS应用的环境状态不同时间段的温度值，并且，根据放置角加速度感应微小机械的密闭空间内及MEMS角速度传感器外的环境温度的温差，内外温度的变化速度及内外传热的量的大小，对放置角加速度感应微小机械的密闭空间利用法尔贴效应的冷却片进行温度变化的控制，使感应角速度的微小机械保持其工作温度相对稳定恒定的状态，使MEMS角速度传感器的温度变化速度不至于过于激烈，从而保证MEMS角速度传感器的输出信号的精度。

2.该MEMS角速度传感器的MEMS角速度传感器的角速度感应微小机械所放置的密闭空间的利用法尔贴效应的冷却片进行温度变化控制的装置由以下几部分组成：a，密闭室内温度传感器：此传感器用于感应MEMS角速度传感器的感应角速度信号的微小机械所放置的密闭室内的温度；b，环境温度传感器：此传感器用于感应MEMS角速度传感器所放置环境的环境温度；c，法尔贴效应冷却片：用于冷却MEMS角速度传感器的感应角速度信号的微小机械所放置的密闭室的温度；d，法尔贴效应冷却控制器：该法尔贴效应冷却控制器，根据密闭室内温度传感器及环境温度传感器的得到的温度值及温度的变化情况，外界温度环境及不同的工作状态，同时参考MEMS角速度传感器的感应角速度信号的微小机械所放置的密闭室壁的热传导速度，对法尔贴效应冷却片进行控制，使密闭室内的温度保持相对恒定，温度变化范围的速度保持在一定的速度范围之内。