[发明专利]用于检查光伏衬底的方法

权利要求书

1.一种用于检查具有固有的混杂图案的衬底的方法，该方法包含有以下步骤：

在衬底的第一侧面提供有光学器件和前侧照明；

在和该第一侧面相对的衬底的第二侧面提供有NIR照明，该NIR照明被操作来穿透该衬底，以便于被该光学器件通过该衬底检测；

通过前侧照明照射获得该衬底的第一图像；

通过NIR照明从第二侧面照射获得该衬底的第二图像；其后

处理第一图像和第二图像，以将衬底上的混杂图案和衬底上出现的任何裂纹区分。

2.如权利要求1所述的方法，其中：

该前侧照明包含有多个前侧照明光源，该前侧照明光源在环绕于该衬底的不同位置设置，并相对于衬底平面以斜角的方式倾斜。

3.如权利要求2所述的方法，该方法还包含有以下步骤：

当衬底被前侧照明照射的同时，获得多个衬底图像，其中当衬底被多个前侧照明光源中的每一个照射的同时，获得一个衬底图像。

4.如权利要求2所述的方法，其中前侧照明光源相对于衬底平面以小于40度的角度倾斜。

5.如权利要求1所述的方法，其中，NIR照明包含有多个NIR照明光源，该NIR照明光源环绕于该衬底的不同位置设置，并相对于衬底平面以斜角的方式倾斜。

6.如权利要求5所述的方法，其中，多个NIR照明光源相对于彼此等间距排列。

7.如权利要求5所述的方法，其中，该NIR照明包含有三个NIR照明光源，它们相对于彼此以120度的角度设置。

8.如权利要求5所述的方法，该方法还包含有以下步骤：

当衬底被NIR背光照明照射的同时，获得多个衬底图像，其中当衬底被多个NIR照明光源中的每一个照射的同时，获得一个衬底图像。

9.如权利要求1所述的方法，其中，该前侧照明被操作来增强斑点对比度，和强调突出衬底第一图像上的图案边界。

10.如权利要求9所述的方法，其中，该NIR背光照明被操作来强调突出衬底第二图像上的和由前侧照明所产生的显相相反的图案边界、以及衬底上的任何裂纹。

11.一种用于检查具有固有的混杂图案的衬底的方法，该方法包含有以下步骤：

在衬底的第一侧面提供有光学器件和前侧照明；

在和该第一侧面相对的衬底的第二侧面提供有NIR照明，该NIR照明被操作来穿过该衬底，以便于被该光学器件通过该衬底检测；

通过前侧照明和NIR照明同时照射获得该衬底图像；其后

处理该衬底图像，以将衬底上的混杂图案和衬底上出现的任何裂纹区分。

12.如权利要求11所述的方法，其中，该前侧照明包含有多个前侧照明光源，该前侧照明光源在环绕于该衬底的不同位置设置，并相对于衬底平面以斜角的方式倾斜。

13.如权利要求12所述的方法，其中前侧照明光源相对于衬底平面以小于40度的角度倾斜。

14.如权利要求11所述的方法，其中，NIR照明包含有多个NIR照明光源，该NIR照明光源环绕于该衬底的不同位置设置，并相对于衬底平面以斜角的方式倾斜。

15.如权利要求14所述的方法，其中，多个NIR照明光源相对于彼此等间距排列。

16.如权利要求14所述的方法，其中，该NIR照明包含有三个NIR照明光源，它们相对于彼此以120度的角度设置。

17.如权利要求11所述的方法，其中，该NIR背光照明被操作来强调突出衬底上的和由前侧照明所产生的显相相反的图案边界和任何裂纹。

18.如权利要求17所述的方法，其中，前侧照明的强度和该NIR照明的强度被控制以便于当衬底上的图案边界变得模糊不清的同时，图像上的任何裂纹被强调突出。