[发明专利]用类金刚石膜-铜复合材料散热的发光二极管照明装置

权利要求书

1.用类金刚石膜-铜复合材料散热的发光二极管照明装置，其特征在于包括LED（5）、反射杯(6)和类金刚石膜-铜复合材料做成的散热基板（1），所述散热基板（1）的下表面直接和空气接触，LED（5）通过固晶胶（4）或金属共晶焊直接安置在散热基板（1）的上表面，所述散热基板（1）的上表面设有电路层（3），电路层（3）开有供LED（5）穿过的孔。

2.根据权利要求1所述用类金刚石膜-铜复合材料散热的发光二极管照明装置，其特征在于，散热基板（1）由铜板（12）和附着在铜板（12）上表面和下表面的类金刚石膜（11）组成。

3.根据权利要求1所述用类金刚石膜-铜复合材料散热的发光二极管照明装置，其特征在于，所述散热基板（1）的上表面设有电路层（3），LED（5）通过引脚（53）和电路层（3）相连接。

4.根据权利要求1所述用类金刚石膜-铜复合材料散热的发光二极管照明装置，其特征在于，电路层上方是反射杯（6），LED（5）位于反射杯中，反射杯内表面涂有高反射物质，上表面为粗糙表面。

5.根据权利要求4所述用类金刚石膜-铜复合材料散热的发光二极管照明装置，其特征在于，反射杯为类金刚石膜-铜复合材料，上表面为类金刚石薄膜。

6.根据权利要求1所述用类金刚石膜-铜复合材料散热的发光二极管照明装置，其特征在于LED（5）上方还设有还包括散热板（8），散热板（8）开有容纳LED透镜（51）的孔，且散热板（8）与LED透镜（51）的外壁紧密接触。

7.根据权利要求1所述用类金刚石膜-铜复合材料散热的发光二极管照明装置，其特征在于散热板（8）是类金刚石膜-铜复合材料，且上下表面至少有一个表面覆有类金刚石膜。

8.根据权利要求7所述用类金刚石膜-铜复合材料散热的发光二极管照明装置，其特征在于，散热板（8）和散热基板（1）之间通过导热柱相连。

9.根据权利要求8所述用类金刚石膜-铜复合材料散热的发光二极管照明装置，其特征在于，所述LED（5）有多个，散热板（8）相应开有多个供LED（5）穿过的孔。

10.根据权利要求9所述用类金刚石膜-铜复合材料散热的发光二极管照明装置，其特征在于，所述类金刚石膜-铜复合材料的由如下方法制得：通过微波共振等离子增强化学气相沉积技术让氢气和甲烷反应生成类金刚石膜，其中入射微波为TE10模，微波频率为1~2. 45GHz，微波功率为850~950W；采用抛光后的( 100) 面硅片作为基片,先依次经过丙酮、酒精、去离子水超声清洗, 每种试剂清洗5~8分钟, 然后用氮气吹干；调节氢气流量为10-50sccm,甲烷流量为5-50sccm，衬底真空为（1.0~5. 0）×10^-3Pa，注入负偏压为10~30KV，脉冲频率为100~300HZ，脉宽为10~20μs；沉积过程中基片温度保持在300~500℃，沉积时间为15~20小时，沉积的类金刚石膜厚度达到30-50μm；然后通过电子束蒸镀在压强小于1. 0×10^-5Pa条件下蒸镀2~5小时在类金刚石膜上镀一层5-8nm的铜，随后用硫酸铜溶液在铜上面电镀10-30毫米厚的铜；再把硅基片腐蚀掉，最后在HF溶液中清洗，得所述类金刚石膜-铜复合材料。