[发明专利]一种定位负载的直线电机

权利要求书

1.一种定位负载的直线电机，包括线圈组和磁铁排，线圈组和磁铁排呈直线 排列，其特征在于，所述线圈组为两组，包括上线圈组和下线圈组，上线圈组 包括上定子齿和缠绕于上定子齿上的线圈，下线圈组包括下定子齿和缠绕于下 定子齿上的线圈，上定子齿与下定子齿相向设置，所述磁铁排设置于两组线圈 组的中间。

2.根据权利要求1所述一种定位负载的直线电机，其特征在于，所述磁铁排 与上线圈组的距离等于磁铁排与下线圈组的距离。

3.根据权利要求1所述一种定位负载的直线电机，其特征在于，所述磁铁排 包括由非磁性材料制成的支撑结构和设置于支撑结构上的复数个永磁体，所述 支撑结构上设置有与复数个永磁体个数相对应的空腔，复数个永磁体设置于空 腔内。

4.根据权利要求3所述一种定位负载的直线电机，其特征在于，所述支撑结 构的材料可用非磁性材料，包括但不限于以下各项之一：铝、纤维增强树脂、 塑料。

5.根据权利要求3所述一种定位负载的直线电机，其特征在于，所述磁铁排 上的复数个永磁铁倾斜设置于支撑结构上。

6.根据权利要求4或5所述一种定位负载的直线电机，其特征在于，在定位 XY工作台负载时，包括X轴上的直线电机和Y轴上的直线电机，并且：

Sx＝Mx-Cx；

Sy＝My-Cy；

Cyx-Myx＞Sx；

其中，

Sx是X轴的最大冲程；

Cx是在X轴行程方向上X线圈组的长度；

Mx是在X轴行程方向上电机的磁铁边缘之间的距离；

Sy是Y轴的最大冲程；

Cy是在Y轴方向上Y线圈组的长度；

My是在Y轴行程方向上Y电机磁铁边缘之间的距离；

Cyx是在X轴行程方向上Y线圈组的长度；

Myx是在X轴行程方向上Y电机磁铁边缘之间的距离。

7.根据权利要求4或5所述一种定位负载的直线电机，其特征在于，在定位 XY工作台负载时，包括X轴上的直线电机和Y轴上的直线电机，并且：

Sx＝Cx-Mx；

Sy＝Cy-My；

Cyx-Myx＞Sx；

其中，

Sx是X轴的最大冲程；

Cx是在X轴行程方向上X线圈组的长度；

Mx是在X轴行程方向上电机的磁铁边缘之间的距离；

Sy是Y轴的最大冲程；

Cy是在Y轴方向上Y线圈组的长度；

My是在Y轴行程方向上Y电机磁铁边缘之间的距离；

Cyx是在X轴行程方向上Y线圈组的长度；

Myx是在X轴行程方向上Y电机磁铁边缘之间的距离。

8.根据权利要求4或5所述一种定位负载的直线电机，其特征在于，在定位 单轴工作台负载时，包括单轴上的直线电机，并且：

Sx＝Mx-Cx，其中Mx长于Cx

其中，

Sx是直线电机系统在行程或驱动力方向上的最大冲程；

Cx是在行程或驱动力方向上的线圈组的长度；

Mx是在行程或驱动力方向上的直线电机磁铁边缘之间的距离。

9.根据权利要求4或5所述一种定位负载的直线电机，其特征在于，在定位 单轴工作台负载时，包括单轴上的直线电机，并且：

Sx＝Cx-Mx，其中Cx长于Mx

其中，

Sx是直线电机系统在行程或驱动力方向上的最大冲程；

Cx是在行程或驱动力方向上的线圈组的长度；

Mx是在行程或驱动力方向上的直线电机磁铁边缘之间的距离。