[发明专利]一种仿壁虎毛的干性粘合剂制作方法

权利要求书

1.一种仿壁虎毛的干性粘合剂制作方法，其步骤包括：

第1步基于电感耦合等离子体刻蚀工艺的硅母板制作步骤：

依据纳米级纤维阵列的中纤维的直径、间距制作出点阵结构掩膜板，然后使用电感耦合等离子体刻蚀工艺刻蚀硅母板，刻蚀深度为所设定纳米级纤维的长度，得到带深孔阵列的硅母板；

第2步基于厚胶工艺的复合模具制作步骤：

在带深孔阵列的硅母板上旋涂SU-8光刻胶，SU-8胶厚度为所设定的微米级纤维的长度，烘烤；SU-8光刻胶冷却后将整个硅母板放至光刻机上曝光，曝光所用的掩膜板图案由所设定的微米级纤维的直径、间距对应制作；曝光完成后将整个硅母板烘烤，待冷却后放入显影液中浸泡，则未曝光的SU-8胶被去掉，得到SU-8胶与硅的复合模具；

第3步基于微模塑成型的双层纤维阵列制作步骤：

清洗SU-8胶与硅的复合模具，然后镀上分离剂，再将纤维材料倒在复合模具上，烘烤后从复合模具上剥离，得到仿壁虎毛的微纳层次结构纤维阵列，即干性粘合剂。

2.根据权利要求1所述的仿壁虎毛的干性粘合剂制作方法，其特征在于，所述干性粘合剂结构为仿壁虎毛的两级结构，纳米级纤维直径0.5～1μm，长度3～6μm；微米级纤维直径3.25～6.5μm，长度19.5～39μm，纤维阵列中纤维之间间距范围在纤维半径与直径之间。

3.根据权利要求1或2所述的仿壁虎毛的干性粘合剂制作方法，其特征在于，分离剂为六甲基二硅胺烷。

4.根据权利要求1或2所述的仿壁虎毛的干性粘合剂制作方法，其特征在于，纤维材料为聚二甲基硅氧烷。