[发明专利]一种基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器

权利要求书

1.一种基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器，每个移相单元由两个对称的分单元连接组成，其特征在于，

每个分单元包括一个T型结(2)，T型结(2)的水平端连接信号的输入输出端(11)，T型结(2)的上端连接第一MEMS开关(101)的触点端，T型结(2)的下端连接第二MEMS开关(102)的触点端，第一MEMS开关(101)的锚点端接MEMS电容电感移相传输线(4)，MEMS电容电感移相传输线(4)的另一端连接第一传输线直角转角(501)，第二MEMS开关(102)的锚点端连接参考移相位共面波导传输线(3)，参考移相位共面波导传输线(3)的另一端连接第二传输线直角转角(502)；

两个分单元之间通过第一传输线直角转角(501)和第二传输线直角转角(502)连接；

第一MEMS开关电极(801)通过第一隔离电阻(901)与第一引线(701)连接两个分单元的第一MEMS开关(101)的下电极；

第二MEMS开关电极(802)通过第二隔离电阻(902)与第二引线(702)连接两个分单元的第二MEMS开关(102)的下电极。

2.根据权利要求1所述的基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器，其特征在于，所述移相单元设置在介质衬底(6)上。

3.根据权利要求1所述的基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器，其特征在于，所述T型结(2)上布置有呈方形的四个空气桥(10)，用于抑制共面波导地线不对称而产生的高阶模式。

4.根据权利要求3所述的基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器，其特征在于，所述T型结(2)采用台阶补偿法补偿空气桥(10)带来的额外电容。

5.根据权利要求3所述的基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器，其特征在于，所述T型结(2)的水平端设置一段高阻传输线，补偿T型结(2)没有信号通过端的开路短截线所产生的电容。

6.根据权利要求1所述的基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器，其特征在于，所述第一传输线直角转角(501)和第二传输线直角转角(502)上分别设置有两个空气桥(10)，用于抑制共面波导地线不对称而产生的高阶效应。

7.根据权利要求6所述的基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器，其特征在于，所述第一传输线直角转角(501)和第二传输线直角转角(502)采用台阶补偿法补偿空气桥(10)带来的额外电容。

8.根据权利要求1所述的基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器，其特征在于，所述MEMS电容电感移相传输线(4)基于共面波导结构，MEMS电感位于中心信号线处，桥电容置于电感之上，两端固定在两侧地线上。

9.根据权利要求1所述的基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器，其特征在于，所述参考移相位共面波导传输线(3)为一段普通的共面波导线，由两侧地线及中心信号线构成。

10.根据权利要求1所述的基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器，其特征在于，由所述多个移相单元级联构成多位移相器。