[发明专利]根据干涉量度学原理的偏转测量设备有效

专利信息
申请号: 201110335606.7 申请日: 2011-09-07
公开(公告)号: CN102538662A 公开(公告)日: 2012-07-04
发明(设计)人: H·基尔施 申请(专利权)人: 克洛纳测量技术有限公司
主分类号: G01B9/02 分类号: G01B9/02
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 臧永杰;卢江
地址: 德国杜*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 根据 干涉 量度 原理 偏转 测量 设备
【权利要求书】:

1.根据干涉量度学原理的偏转测量设备(1),具有辐射源(2)、实现第一光程的第一纤维光学装置(3)、实现第二光程的第二纤维光学装置(4)、偏转体(5)和分析电路(6),其中第一纤维光学装置(3)和第二纤维光学装置(4)在输入侧可被施加辐射源(2)的能干涉的辐射,其中至少第一纤维光学装置(3)与偏转体(5)连接,并且其中在第一纤维光学装置(3)中引导的第一分辐射和在第二纤维光学装置(4)中引导的第二分辐射在输出侧汇合并且向分析电路(6)输送干涉辐射,并且通过分析电路(6)分析,其特征在于,

第一纤维光学装置(3)和第二纤维光学装置(4)仅在偏转体(5)处布置,第一纤维光学装置(3)和/或第二纤维光学装置(4)在输入侧用唯一的光学供给纤维(9)与辐射源(2)连接,并且第一纤维光学装置(3)和/或第二纤维光学装置(4)在输出侧用唯一的光学分析纤维(10)与分析电路(6)连接。

2.根据权利要求1所述的偏转测量设备,其特征在于,第一纤维光学装置(3)和第二纤维光学装置(4)共同通过光学多芯纤维构成,特别通过光学双芯纤维构成。

3.根据权利要求1或2所述的偏转测量设备,其特征在于,光学供给纤维(9)和/或光学分析纤维(10)通过光学单芯纤维构成。

4.根据权利要求1到3之一所述的偏转测量设备,其特征在于,使第一纤维光学装置(3)和第二纤维光学装置(4)彼此如此接近,使得在分别一个纤维光学装置(3、4)中引导的分辐射对分别另一纤维光学装置(4、3)的串扰是可能的,特别是第一纤维光学装置(3)和第二纤维光学装置(4)之间的间距小于所引导的分辐射的10个波长,优选小于所引导的分辐射的5个波长。

5.根据权利要求4所述的偏转测量设备,其特征在于,第一纤维光学装置(3)和第二纤维光学装置(4)之间的分辐射的串扰通过在第一纤维光学装置(3)外和/或在第二纤维光学装置(4)外引导的、分辐射的渐消失的部分进行。

6.根据权利要求2和3到5之一所述的只要引用权利要求2的偏转测量设备,其特征在于,多芯或者双芯纤维具有弄平部(12),并且利用该弄平部(12)放在偏转体(5)处,特别是其中弄平部(12)关于多芯或者双芯纤维的芯始终不变地取向,所述芯特别是在弄平部(12)上方垂直地并且一个接一个地布置。

7.根据权利要求1到6之一所述的偏转测量设备,其特征在于,光学供给纤维(9)具有如此大的导光横截面,使得供给纤维(9)在输入侧的对接位置处至少部分覆盖第一纤维光学装置(3)的导光横截面和第二纤维光学装置(4)的导光横截面,和/或光学分析纤维(10)具有如此大的导光横截面,使得分析纤维(10)在输出侧的对接位置处至少部分覆盖第一纤维光学装置(3)的导光横截面和第二纤维光学装置(4)的导光横截面。

8.根据权利要求1到7之一所述的偏转测量设备,其特征在于,光学供给纤维(9)的导光横截面在输入侧的对接位置处仅至少部分覆盖第一纤维光学装置(3)的导光横截面或者第二纤维光学装置(4)的导光横截面,和/或光学分析纤维(10)的导光横截面在输出侧的对接位置处仅至少部分覆盖第一纤维光学装置(3)的导光横截面或者第二纤维光学装置(4)的导光横截面。

9.根据权利要求8所述的偏转测量设备,其特征在于,光学供给纤维(9)仅向第一纤维光学装置(3)和第二纤维光学装置(4)中的一个纤维光学装置耦合输入辐射,并且分析纤维(10)仅从供给纤维(9)将辐射耦合输入到的该同一纤维光学装置(3、4)耦合输出分辐射。

10.根据权利要求8所述的偏转测量设备,其特征在于,光学供给纤维(9)仅向第一纤维光学装置(3)和第二纤维光学装置(4)中的一个纤维光学装置耦合输入辐射,并且分析纤维(10)仅从第一纤维光学装置(3)和第二纤维光学装置(4)中的、供给纤维(9)不直接将辐射耦合输入到的该纤维光学装置耦合输出分辐射。

11.根据权利要求7和8所述的偏转测量设备,其特征在于,光学供给纤维(9)仅向第一纤维光学装置(3)和第二纤维光学装置(4)中的一个纤维光学装置耦合输入辐射,并且分析纤维(10)在输出侧耦合输出第一纤维光学装置(3)和第二纤维光学装置(4)的分辐射。

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