[发明专利]基于等离子发射光谱法的在线微量氮气检测器无效

专利信息
申请号: 201110335715.9 申请日: 2011-10-29
公开(公告)号: CN102507534A 公开(公告)日: 2012-06-20
发明(设计)人: 周权;吕正伦 申请(专利权)人: 重庆川仪分析仪器有限公司
主分类号: G01N21/68 分类号: G01N21/68
代理公司: 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 代理人: 谢殿武
地址: 400700*** 国省代码: 重庆;85
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摘要:
搜索关键词: 基于 等离子 发射光谱 在线 微量 氮气 检测器
【权利要求书】:

1.基于等离子发射光谱法的在线微量氮气检测器,其特征在于:包括

电离气室,包括腔体和设置于腔体上的电离电极,所述腔体上设置有入气口和出气口,所述腔体用于容纳被测气体,腔体的至少部分透明;

激发单元,与电离电极电连接,向电离电极施加高频调幅振荡电场;

接收器单元,与电离气室透明的部分相对设置,用于接收电离气体中被测气体在电离状态下发出的光信号并转换为电信号;以及

滤光器件,设置于接收器单元与电离气室之间,用于选择透过光信号中与氮气对应的特定波长的光。

2.根据权利要求1所述的基于等离子发射光谱法的在线微量氮气检测器,其特征在于:所述电离气室的腔体为石英材料腔体。

3.根据权利要求1所述的基于等离子发射光谱法的在线微量氮气检测器,其特征在于:所述电离电极为铜电极。

4.根据权利要求1所述的基于等离子发射光谱法的在线微量氮气检测器,其特征在于:所述接收器单元的接收器为半导体光敏二极管、光电倍增管或光敏二极管阵列。

5.根据权利要求1所述的基于等离子发射光谱法的在线微量氮气检测器,其特征在于:所述滤光器件为干涉滤光器件或分光器。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的基于等离子发射光谱法的在线微量氮气检测器,其特征在于:所述腔体的入气口或出气口与流量控制单元电连接。

7.根据权利要求6所述的基于等离子发射光谱法的在线微量氮气检测器,其特征在于:所述接收器单元上还设置有恒温装置。

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