[发明专利]石墨烯透明导电薄膜的制备方法有效
申请号: | 201110336836.5 | 申请日: | 2011-10-31 |
公开(公告)号: | CN102337513A | 公开(公告)日: | 2012-02-01 |
发明(设计)人: | 赵士超;吕燕飞;刘海涛;霍德璇;季振国 | 申请(专利权)人: | 杭州电子科技大学 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 杜军 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 透明 导电 薄膜 制备 方法 | ||
1.石墨烯透明导电薄膜的制备方法,其特征在于该方法的具体步骤是:
步骤(1).将金属片用浓度为O.5~1.5M的盐酸浸洗5~10秒,去离子水清洗后用氮气吹干,放入电炉的石英管中;
步骤(2).石英管中持续通入氩气和氢气的混合气,氩气与氢气的流量比为5~15:10,将电炉温度升至900~1000℃后保温5~30分钟;
步骤(3).同时向石英管内通入甲烷,甲烷与氢气的流量比为1~2:1,20~30分钟后关闭通入甲烷气体;
步骤(4).打开电炉,将石英管冷却到常温,冷却速率为20~30℃/min,然后关闭通入氢气和氩气,取出金属片;
步骤(5).将透明衬底用去离子水清洗,然后用氮气吹干,表面均匀涂覆粘结剂,粘结剂厚度为0.05~0.1毫米;
步骤(6).将步骤(4)获得的金属片平贴在透明衬底表面,烘箱中40~60℃保温8~12小时,粘结剂固化;
步骤(7).将贴有金属片的透明衬底取出,用机械外力撕去金属片,获得层状结构的石墨烯透明导电薄膜,其中底层为透明衬底层、中间层为粘结剂层、顶层为石墨烯导电层。
2.如权利要求1所述的石墨烯透明导电薄膜的制备方法,其特征在于:所述的金属片的金属为铁、铜、镍、铜镍合金、铁镍合金或铜铁合金。
3.如权利要求1所述的石墨烯透明导电薄膜的制备方法,其特征在于:所述的透明衬底为氧化硅玻璃或透明塑料薄膜。
4.如权利要求1所述的石墨烯透明导电薄膜的制备方法,其特征在于:所述的粘结剂为环氧树脂、聚氨酯树脂、丙烯酸酯树脂中的一种。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的