[发明专利]镀膜修正板及镀膜装置有效

专利信息
申请号: 201110337356.0 申请日: 2011-10-31
公开(公告)号: CN103088298A 公开(公告)日: 2013-05-08
发明(设计)人: 裴绍凯 申请(专利权)人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/54;C23C14/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518109 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 镀膜 修正 装置
【权利要求书】:

1.一种镀膜修正板,其包括一个遮挡面、两个相对转动设置的遮挡片及一个活动设置在所述两个遮挡片之间的调整元件;所述两个遮挡片共同配合决定所述遮挡面的外轮廓;所述调整元件用于驱动所述两个遮挡片相对转动以改变所述遮挡面的外轮廓。

2.如权利要求1所述的镀膜修正板,其特征在于:还包括一个安装杆、所述安装杆呈长条状并包括一个第一端部;所述两个遮挡片安装在所述第一端部上。

3.如权利要求2所述的镀膜修正板,其特征在于:所述第一端部开设有一个螺孔,所述调整元件为一个螺丝,所述调整元件包括一个与所述螺孔对应的螺纹部及连接至所述螺纹部的凸轮状的头部,所述调整元件旋转时,所述头部与所述两个遮挡片相抵靠以驱动所述两个遮挡片相对转动。

4.如权利要求3所述的镀膜修正板,其特征在于:所述安装杆及两个遮挡片均由金属制成,每个遮挡片均延伸设有一个弹性臂,所述每个遮挡片的弹性臂焊接至所述第一端部。

5.如权利要求4所述的镀膜修正板,其特征在于:每个遮挡片还包括一个平面状的第一侧面,所述两个遮挡片的两个第一侧面相对;所述头部包括一个与所述两个第一侧面垂直的操作面、一对平面状的且垂直于所述操作面的第一配合面及一对弧形的连接于所述一对第一配合面之间的第二配合面;所述第二配合面之间的距离大于所述第一配合面之间的距离;当旋转所述头部使所述两个第一侧面平行于所述一对第一配合面时,所述两个第一侧面之间的距离对应于所述一对第一配合面之间的距离,所述两个遮挡片的弹性臂处于自然状态不发生变形。

6.如权利要求1所述的镀膜修正板,其特征在于:所述镀膜修正板还包括一个固定在所述两个遮挡片之间的弹性元件,当所述调整元件驱动所述两个遮挡片相对转动时,所述弹性元件提供一个驱使所述两个遮挡片相向运动趋势的拉力。

7.如权利要求1所述的镀膜修正板,其特征在于:所述每个遮挡片为平板状的弓形且包括一个子遮挡面,所述两个遮挡片的两个子遮挡面共面且共同配合决定所述遮挡面的外轮廓;所述调整元件安装于所述安装杆上用于驱动所述两个遮挡片沿平行所述两个遮挡片各自的遮挡面的方向相对转动。

8.一种镀膜装置,包括一个中空的镀膜室、一个安装于所述镀膜室的承载架、一个安装于所述镀膜室且与所述承载架相对设置的蒸镀源及至少一个设置于所述承载架与所述蒸镀源之间的镀膜修正板;每个所述镀膜修正板包括一个遮挡面、两个相对转动设置的遮挡片及一个活动设置在所述两个遮挡片之间的调整元件;所述两个遮挡片共同配合决定所述遮挡面的外轮廓;所述调整元件用于驱动所述两个遮挡片相对转动以改变所述遮挡面的外轮廓。

9.如权利要求8所述的镀膜装置,其特征在于:所述至少一个镀膜修正板还包括一个安装杆、所述安装杆呈长条状并包括一个第一端部,所述第一端部开设有一个螺孔;所述每个遮挡片包括一个与所述蒸镀源相对的子遮挡面,所述两个遮挡片安装在所述第一端部上且所述两个遮挡片的两个子遮挡面共面;所述调整元件为一个螺丝,所述调整元件包括一个与所述螺孔对应的螺纹部及连接至所述螺纹部的凸轮状的头部,所述调整元件旋转时,所述头部与所述两个遮挡片相抵靠以驱动所述两个遮挡片相对转动。

10.如权利要求9所述的镀膜装置,其特征在于:所述镀膜装置包括两个镀膜修正板,所述两个镀膜修正板为第一镀膜修正板及第二镀膜修正板,所述第一镀膜修正板包括一个第一安装杆,所述第二镀膜修正板包括一个第二安装杆,所述第一安装与所述第二安装杆固定连接,使所述第一镀膜修正板及第二镀膜修正板层叠连接在一起。

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