[发明专利]粘合装置和粘合方法

权利要求书

1.一种粘合装置，其用于将两个薄板构件粘合起来，其特征在于，

该粘合装置包括：

第一保持部，其用于将第一薄板构件载置且保持在该第一保持部的上表面；

加热机构，其设在上述第一保持部的内部；

第二保持部，其与所述第一保持部相对地设在该第一保持部的上方，用于在该第二保持部的下表面保持第二薄板构件；

排气机构，其用于在上述第一保持部与上述第二保持部抵接时、对由上述第一保持部和上述第二保持部围成的空间内进行排气；

按压机构，其设在上述第二保持部的上表面侧，用于向下方按压上述第二保持部；

第一支承台，其通过将支承上述第一保持部的外周部的下表面的多个第一支承构件呈环状组合而形成；

第二支承台，其通过将支承上述第一支承台的下表面的多个第二支承构件呈环状组合而形成；

以使上述第二保持部的一处在规定的压力的作用下挠曲的方式构成该第二保持部；

上述第二支承台和上述第一保持部利用分别相对于各上述第二支承构件逐一地设有的固定构件来固定；

各上述固定构件穿过被形成于各上述第二支承构件的、直径比上述固定构件的直径大的通孔。

2.根据权利要求1所述的粘合装置，其特征在于，

该粘合装置具有用于保持上述第一保持部与上述第二保持部之间的空间的气密性的气密性保持机构。

3.根据权利要求2所述的粘合装置，其特征在于，

上述气密性保持机构包括：

突出部，其沿上述第二保持部的外周下表面设置，自该外周下表面向下方突出；

密封件，其呈环状设在上述突出部的下表面上，用于保持被上述第一保持部、第二保持部和上述突出部围成的空间的气密性；

高度调整机构，其设在上述密封件的外侧，能够与上述突出部的下表面抵接而调整上述第一薄板构件与上述第二薄板构件之间的铅垂方向的距离。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的粘合装置，其特征在于，

上述按压机构具有以至少覆盖上述第二薄板构件的方式设置的沿铅垂方向伸缩自如的容器，通过将流体导入到该容器内，使上述按压机构按压上述第二保持部。