[发明专利]MEMS角速度传感器的温度稳定性能保障的有源温度变化补偿控制装置及方法无效
| 申请号： | 201110338354.3 | 申请日： | 2011-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN103064444A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 郭松 | 申请（专利权）人： | 郭松 |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214192 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 角速度 传感器 温度 稳定 性能 保障 有源 变化 补偿 控制 装置 方法 | ||
1.MEMS角速度传感器的放置感应角速度感应微小机械的密闭空间的温度恒定的控制方法。是同时监视放置感应角加速度感应微小机械的密闭空间内及MEMS角速度传感器外的环境温度，根据放置角加速度感应微小机械的密闭空间内及MEMS角速度传感器外的环境温度的温差和加速度感应微小机械的密闭空间内温度变化的速度，内外温度的变化速度及内外传热的量的大小，对放置角加速度感应微小机械的密闭空间加热进行有源控制从而控制其温度变化的速度，使感应角速度的微小机械保持其机械特性不发生激烈变化从而保证MEMS角速度传感器输出精度的方法。
2.该MEMS角速度传感器的MEMS角速度传感器的角速度感应微小机械所放置的密闭空间的恒温控制装置由以下几部分组成：a，密闭室内温度传感器：此传感器用于感应MEMS角速度传感器的感应角速度信号的微小机械所放置的密闭室内的温度；b，环境温度传感器：此传感器用于感应MEMS角速度传感器所放置环境的环境温度；c，微小加热器：用于加热MEMS角速度传感器的感应角速度信号的微小机械所放置的密闭室的温度；d，温度变化速度控制器：该温度变化速度控制器，根据密闭室内温度传感器及环境温度传感器的得到的温度值及温度的变化情况，同时参考MEMS角速度传感器的感应角速度信号的微小机械所放置的密闭室壁的热传导速度，对微小加热器进行控制，使密闭室内的温度的变化速度保持在一定的范围之内。
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