[发明专利]一种高透过率光子筛无效
| 申请号： | 201110338648.6 | 申请日： | 2011-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN103091751A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 谢常青;辛将;朱效立;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 透过 光子 | ||
1.一种高透过率光子筛，其特征在于，包括：
不透光金属薄膜，所述金属薄膜上设置有多组不同边长的透光方形微孔，每组方形微孔间隔分布在同一圆环上，各组方形微孔所在的圆环为一系列半径不同的同心圆，第m个圆环的半径rm和环带宽度wm满足关系式：
rm2＝2mfλ+m2λ2，wm＝rm-rm-1，m＝1、2、3...
所述λ是入射光波长，所述f是光子筛焦距；
并且分布在第m个圆环的方形微孔的边长am满足关系式：
am＝0.5wm～2.0wm。
2.根据权利要求1所述光子筛，其特征在于，所述方形微孔的对角线与其所在环带的切线平行或垂直。
3.根据权利要求2所述光子筛，其特征在于，所述方形微孔的边长为
4.根据权利要求1所述光子筛，其特征在于，所述不透光金属薄膜厚度为1.5λ～2.0λ，且大于80nm。
5.根据权利要求1所述光子筛，其特征在于，所述不透光金属薄膜的制作材料为金。
6.根据权利要求1所述光子筛，其特征在于，所述不透光金属薄膜的制作材料为银。
7.根据权利要求1所述光子筛，其特征在于，所述入射光波长λ小于190nm时，所述光子筛还包括透光衬底，所述金属薄膜镀在所述透光衬底表面上。
8.根据权利要求1所述光子筛，其特征在于，所述透光衬底的材料为透光材料。
9.根据权利要求8所述光子筛，其特征在于，所述透光材料为有机玻璃。
10.根据权利要求9所述光子筛，其特征在于，所述透光材料为石英玻璃。
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