[发明专利]放电灯、连接用线缆、光源装置及曝光装置

权利要求书

1.一种连接用线缆，其用于将在玻璃构件的内部收纳有用于放电的电极的放电灯与所述冷却介质的供应源及电源连结，其特征在于，

所述连接用线缆具备：

管状构件，其由柔性材料形成，并且具有所述冷却介质的流路；

覆盖构件，其由具有导电性的柔性材料形成，并且设置成覆盖所述管状构件，用于从所述电源向所述放电灯供应电力；

第一端子构件，其既连结于所述管状构件的一端，又连结于所述覆盖构件的一端，并能够与设置在覆盖所述放电灯的灯头构件的外罩构件上的连接器连接。

2.根据权利要求1所述的连接用线缆，其特征在于，

所述覆盖构件是将多条导线以网眼状编成的构件。

3.根据权利要求1或2所述的连接用线缆，其特征在于，

所述连接用线缆还具备第二端子构件，所述第二端子构件既连结于所述管状构件的另一端，又连结于所述覆盖构件的另一端，

所述连接用线缆经由所述第二端子构件而与所述冷却介质的供应源及所述电源连接。

4.一种光源装置，其与电源和冷却介质的供应源连接，其特征在于，

所述光源装置具有：

放电灯；和

用于将所述电源及所述供应源与所述放电灯连接的权利要求1至3中任意一项所述的连接用线缆。

5.一种曝光装置，其利用从光源装置中产生的曝光光在感光基板上将图案曝光，其特征在于，

使用权利要求4所述的光源装置作为所述光源装置。