[发明专利]制造柔性显示器的方法

说明书

本申请要求2010年10月30日提交的韩国专利申请10-2010-0107370的优先权，通过参考将该申请全文并入本文。

技术领域

本发明涉及制造显示器的方法，更特别地，涉及制造有机发光二极管显示器的方法，在所述方法中柔性基板容易与载体基板分离而不需使用激光设备并防止了劣化，例如有机电致发光二极管升高(1ift)和产生气泡。

背景技术

在各种平板显示器(FPD)当中，有机发光二极管(OLED)显示器具有相对较高的亮度和相对较低的驱动电压。此外，由于OLED显示器具有自发光的发光类型，因此OLED显示器具有相对较高的对比度和相对较薄的外形(profile)。由于响应时间为几个微秒，因此OLED显示器具有显示运动图像的优势。而且，OLED显示器没有视角方面的限制，并且具有甚至在低温下的稳定性。由于OLED显示器通过直流(DC)5V至直流15V的低压来驱动，因此容易设计和制造驱动电路。而且，由于制造OLED显示器所需要的全部设备是沉积设备和封装设备，因此OLED显示器的制造工艺非常简单。

OLED显示器分类成无源矩阵型和有源矩阵型。在无源矩阵型OLED显示器的情况下，由于有机电致发光(EL)二极管直接连接到扫描线和信号线，所述扫描线和信号线彼此交叉以限定矩阵形式的像素区域，有机EL二极管发出瞬时亮度的光，所述瞬时亮度等于平均亮度乘以扫描线数目。

在有源矩阵型OLED显示器的情况下，开关薄膜晶体管(TFT)设置在每个像素区域中，与开关TFT连接的驱动TFT连接到每个像素区域中的有机EL二极管和电源(power)线。有机EL二极管包括连接到驱动TFT的第一电极、用作公共电极的第二电极、和在第一和第二电极之间的有机发光层。施加到像素区域的电压储存在存储电容器中，并保持该电压直到施加了用于下一帧的信号为止。因此，像素区域可保留该信号直到下一帧，而不管扫描线数目如何。由于有源矩阵型OLED显示器能以低电流获得所需亮度，因此有源矩阵型OLED显示器具有诸如低功耗、高分辨率和大尺寸的优势和已被广泛地使用。

目前，使用约10μm至约200μm厚度的塑料基板作为基底基板来制造OLED显示器，以尽可能增加柔性。但是，当在单元处理之间传输塑料基板和将塑料基板设置在工作台上时，由于柔性，很难保持塑料基板的平坦状态。因此，当使用塑料基板制造OLED显示器时，将塑料基板贴附到另外的载体基板，该载体基板几乎不可弯曲并在工作台上具有平坦状态，在随后处理中将载体基板与塑料基板分离，以完成具有优良柔性的OLED显示器。

图1A至1D是示出根据现有技术制造有机发光二极管显示器的方法的截面图。图1A中，在载体基板5上形成烧蚀(ablation)层7。载体基板5包括激光束可穿过的玻璃。此外，烧蚀层7包括氢化非晶硅(a-Si:H)，通过照射激光束，氢化非晶硅可放出氢气，以将塑料基板与载体基板5分离。

在图1B中，通过涂覆和加热液态的塑料材料，在烧蚀层7上形成塑料基板11。在图1C中，在塑料基板11上形成栅极线(未示出)、数据线(未示出)、开关薄膜晶体管(TFT)(未示出)和驱动TFT DTr。此外，在驱动TFTDTr上形成有机电致发光(EL)二极管E，有机EL二极管E包括连接到驱动TFT DTr的漏极22的第一电极47、有机发光层55和第二电极58。而且，在有机EL二极管E上形成用于保护有机EL二极管E的保护片80，将用于贴附驱动电路板(未示出)的模块工艺贴附到塑料基板11。

在图1D中，激光设备99的激光束LB通过载体基板5的背面照射到烧蚀层7上。由于氢化非晶硅(a-Si:H)的氢气从烧蚀层7喷出，因此上面具有开关TFT、驱动TFT DTr和有机EL二极管E的塑料基板11与载体基板5分离，以完成有机发光二极管(OLED)显示器70。

但是，由于将塑料基板11与载体基板5分离的步骤使用价格昂贵的激光设备99，因此增加了OLED显示器70的制造成本。此外，由于通过照射激光束LB将塑料基板11和载体基板5分离花费约10分钟至约30分钟，因此降低了OLED显示器70的产率。而且，由于激光束LB可能会降低开关TFT和驱动TFT DTr的性能或者断开栅极线和数据线，因此降低了OLED显示器70的成品率。

发明内容

因此，本发明涉及制造柔性显示器的方法，其基本避免了由于现有技术的限制和不足导致的一个或多个问题。

本发明的优势在于提供一种制造柔性显示器的方法，在该方法中可将塑料基板和载体基板分离而无需使用激光设备，从而降低了制造成本和制造时间。