[发明专利]硅片夹具结构

说明书

技术领域

本发明涉及硅片清洗工装领域，具体为硅片夹具结构。

背景技术

硅棒胶粘于连接件，通过连接件固定于切割机，然后进行硅片的切割，切割完成后需要将硅片进行清洗，此时已切割好的硅片仍胶粘于连接件上，以往是将切割好的硅片与连接件一起人工搬运至清洗工位，工作效率低，且在搬运过程中的碰撞会导致硅片的损坏。现在业内用的硅片夹具结构如图1所示，其包括加强板6，加强板6横向两端分别对称安装有弯板3，弯板3的纵向两端分别焊接有圆杆1，圆杆1两端套装有限位环7；加强板6中心部位开有螺孔，螺孔内设置有螺钉5，螺钉5上部设置有销4；螺钉5通过螺母8固定。2为把手， 9为连接件，10为硅片。但是圆杆1直接焊接在弯板3上，一旦工作时，整个机构的重量就直接作用在圆杆和弯板的焊点上，一般来说硅片柱的重量很大，这样焊接处容易松动剥落，导致发生安全事故。

发明内容

针对上述现有硅片夹具的缺点，本发明提供了硅片夹具结构，其能够有效解决夹具结构由于承重过大而出现焊点松动剥落问题，从而避免安全事故发生。

其具体技术方案是这样的：硅片夹具结构，其包括加强板，所述的加强板两端对称安装有弯板，所述的弯板纵向两端分别安装有圆杆，所述的圆杆两端套装有限位环；所述的加强板中心处开有螺孔，所述的螺孔内设置有螺钉，所述的螺钉上部设置有销，所述的螺钉通过螺母固定，其特征在于：所述的弯板壁内与所述的圆杆相接处设置有轴承，所述的圆杆通过所述的轴承贯穿安装在所述的弯板上。

本发明采用上述结构，圆杆通过轴承安装于弯板，这样在机构行进中，整个机构的重量压在轴承上，而轴承安装于弯板壁体内，这样就不会出现原有夹具焊点剥落情况，有效杜绝安全事故发生。

附图说明

图1为原有硅片夹具结构使用示意图；

图2为本发明结构使用主视示意图；

图3为本发明结构使用俯视示意图。

具体实施方式

如图2，图3所示，本发明包括加强板6，加强板6两端对称安装有弯板3，弯板3纵向两端安装有圆杆1，圆杆1两端套装有限位环7；加强板6中心处开有螺孔，螺孔内设置有螺钉5，螺钉5上部设置有销4，螺钉5通过螺母8固定，弯板3壁内与圆杆1相接处设置有轴承11，圆杆1通过轴承11贯穿安装在弯板3上。图1为原有硅片夹具结构使用示意图，图中2为把手，9为连接件，10为硅片。

硅棒切割成硅片后，连接件9仍与硅片10上部固定，将连接件9卡接入加强板6与其两端弯板3形成的空腔内，旋转销4带动螺钉5顶紧连接件9，锁紧螺母8，在输送过程中，结构两端的圆杆1搁置于行进机构上，由行进机构将已切割好的硅片送到清洗工位，圆杆1上的限位环7控制结构不易走偏。