[发明专利]成膜装置和成膜方法无效
| 申请号： | 201110339521.6 | 申请日： | 2011-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN102465263A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 中川善之;中野真吾;福田直人 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 钱亚卓 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
1.一种成膜装置，包括：
蒸发源，用于加热成膜材料以及用于释放出所述成膜材料的蒸气；
移动部，用于使所述蒸发源相对于成膜对象物在预定成膜待机位置与预定成膜位置之间移动；
测量用石英振荡器，用于测量形成在所述成膜对象物上的所述成膜材料的量；以及
校正用石英振荡器，用于校正利用所述测量用石英振荡器测得的所述成膜材料的量，
其中，所述测量用石英振荡器设在所述移动部内，所述校正用石英振荡器设在所述移动部的所述预定成膜待机位置的上方。
2.一种利用装置的成膜方法，所述装置包括：
蒸发源，用于释放出成膜材料的蒸气；
移动部，用于使所述蒸发源相对于成膜对象物在预定成膜待机位置与预定成膜位置之间移动；
测量用石英振荡器，用于测量形成在所述成膜对象物上的所述成膜材料的量；以及
校正用石英振荡器，用于校正利用所述测量用石英振荡器测得的所述成膜材料的量，所述成膜方法包括：
在所述蒸发源处于所述成膜位置的移动期间，把所述成膜材料沉积到所述成膜对象物和所述测量用石英振荡器上的成膜步骤；
利用所述测量用石英振荡器，测量形成在所述成膜对象物上的所述成膜材料的量的步骤；
当所述蒸发源位于所述预定成膜待机位置时，把所述成膜材料沉积到所述测量用石英振荡器和所述校正用石英振荡器上的步骤；
利用各石英振荡器，测量被沉积到所述测量用石英振荡器和所述校正用石英振荡器中每个上的所述成膜材料的量的步骤；以及
基于利用各石英振荡器测得的成膜量的比，确定用于校正所述测量用石英振荡器测得的所述成膜材料的成膜量的校正系数的步骤。
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