[发明专利]离子源

权利要求书

1.一种离子源，不具有抑制电子从下游一侧流入的抑制电极，所述离子源的特征在于，所述离子源包括：

多个电极，沿离子束的引出方向配置；以及

磁场产生部件，配置在所述电极的下游一侧，至少具有一对磁极，该一对磁极产生横穿从所述离子源引出的所述离子束的磁场。

2.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述磁场产生部件在沿着所述离子束的引出方向上的不同位置具有第一磁极对和第二磁极对，并且在所述第一磁极对和所述第二磁极对之间产生的磁场的方向相反，所述第一磁极对和所述第二磁极对具有夹着所述离子束配置的一对磁极。

3.根据权利要求2所述的离子源，其特征在于，所述第一磁极对和所述第二磁极对由磁体构成，构成所述第一磁极对和所述第二磁极对的磁体通过永磁体连接。

4.根据权利要求2或3所述的离子源，其特征在于，通过在所述第一磁极对之间和在所述第二磁极对之间产生的磁场，对所述离子束施加方向相反、且大小基本相等的洛伦兹力。

5.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，在所述磁极上形成有电极支承槽，该电极支承槽沿与所述离子束的引出方向基本垂直的方向延伸设置。

6.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，在所述磁极的面上配置有所述电极中的位于最下游一侧的电极。