[发明专利]一种接触式电容微加速度传感器

权利要求书

1.一种接触式电容微加速度传感器，其特征在于：包括衬底（1）、固定支撑（2）、衬底电极（3）、绝缘薄膜（4）、敏感薄膜（5）、微梁（6）和惯性质量块（7）；所述固定支撑（2）的上、下两端分别设有水平布置的衬底（1），上端的衬底（1）和下端的衬底（1）相互平行，两个衬底（1）的内侧均制作有衬底电极（3），衬底电极（3）上覆盖有绝缘薄膜（4）；所述惯性质量块（7）通过其周边对称均布的四根微梁（6）悬挂于固定支撑（2）的中部，惯性质量块（7）的上、下两侧水平设有与其接触的敏感薄膜（5），敏感薄膜（5）的周边固定在固定支撑（2）上；所述固定支撑（2）上部的衬底电极（3）位于惯性质量块（7）的正上方，固定支撑（2）下部的衬底电极（3）位于惯性质量块（7）的正下方。

2.根据权利要求1所述的接触式电容微加速度传感器，其特征在于：所述微梁（6）呈“L”型结构，其一端连接在固定支撑（2）上，另一端连接在惯性质量块（7）的侧面正中部。

3.根据权利要求1或2所述的接触式电容微加速度传感器，其特征在于：所述敏感薄膜（5）的厚度T₁控制在：0﹤T₁ ≤10微米；所述绝缘薄膜（4）的厚度T₂控制在：0﹤T₂ ≤1微米。