[发明专利]利用连续横向固化的结晶设备

权利要求书

1.一种结晶设备，利用连续横向固化方法在基板上执行结晶，所述结晶设备包括：

激光产生装置，用于发射激光束；

第一望远镜透镜模块和第二望远镜透镜模块，位于所述激光产生装置的一侧处，用于最小化所述激光产生装置所发射的激光束的发散角；以及

主光学系统，位于所述第二望远镜透镜模块的一侧处，用于均匀化并放大透过所述第二望远镜透镜模块的激光束，

其中所述主光学系统相对于所述激光产生装置能旋转。

2.根据权利要求1所述的结晶设备，其中所述第二望远镜透镜模块和所述主光学系统相对于所述激光产生装置整体能旋转。

3.根据权利要求1所述的结晶设备，其中，在所述主光学系统能旋转预定角度时，所述基板的待执行结晶的结晶区域的整个部分被包含在激光辐照区域中。

4.根据权利要求1所述的结晶设备，其中所述主光学系统包括：束均匀器，用于保证具有预定功率的、透过所述第二望远镜透镜模块的激光束的分布是均匀的；和束宽度控制器，用于控制透过所述束均匀器的激光束的束宽度以被维持在预定范围内。

5.根据权利要求1所述的结晶设备，进一步包括延展光学系统，所述延展光学系统介于所述激光产生装置与所述第一望远镜透镜模块之间，所述延展光学系统延展从所述激光产生装置发射的激光束中每脉冲的维持时段。

6.根据权利要求1所述的结晶设备，其中透过所述主光学系统并辐照到所述基板上的激光束是线性激光束。

7.根据权利要求1所述的结晶设备，其中所述激光产生装置所产生的激光束被辐照到所述基板上，同时所述基板相对于所述结晶设备相对能移动。

8.根据权利要求1所述的结晶设备，其中，所述激光产生装置所产生的激光束是脉冲激光束。

9.根据权利要求8所述的结晶设备，其中所述基板的被所述脉冲激光束辐照的第一激光辐照区域与所述基板的被所述脉冲激光束接下来辐照的第二激光辐照区域部分重叠。

10.根据权利要求9所述的结晶设备，其中所述第一激光辐照区域和所述第二激光辐照区域的重叠区域的非晶硅被结晶同时被分解并被固化两次。

11.根据权利要求1所述的结晶设备，进一步包括：

固定所述基板的底板；以及

与所述底板隔开预定间隔并能旋转地设置在所述底板上的旋转件，

其中所述主光学系统被设置在所述旋转件上，并且所述旋转件相对于所述底板能旋转。

12.根据权利要求11所述的结晶设备，进一步包括：

从所述底板的一个表面延伸的多个支柱；以及

位于所述多个支柱上的支撑件，

其中所述旋转件位于所述支撑件上。

13.根据权利要求11所述的结晶设备，其中所述第二望远镜透镜模块联结至所述主光学系统，并且与所述主光学系统一起相对于所述底板能旋转。

14.根据权利要求11所述的结晶设备，其中所述旋转件在与所述激光束所辐照的基板的表面平行设置的板上能旋转。