[发明专利]一种机械加工用研磨工具

说明书

技术领域

本发明涉及机械加工用研磨工具，尤其是涉及同时含有冷却的研磨设备。

背景技术

CN101125415A公开了一种化学机械研磨设备和用于化学机械研磨设备的防溅装置，该研磨设备内安装有一防溅装置，该防溅装置包括安装在化学机械研磨设备内的环状防溅罩和与所述防溅罩相连的升降装置，所述防溅罩侧壁上开有沟槽，所述升降装置具有提升部件，且所述提升部件插入所述沟槽内，将所述防溅罩提升到上位档或下降到下位档。本发明通过在化学机械研磨设备内安装一防溅罩，阻挡飞溅出的研磨液并使其流回，降低了设备的清洗难度，减少了颗粒污染，改善了晶片表面的划痕问题，且操作简便，不会影响正常的装卸片操作。

美国专利公开US2007275642 A1，通过由驱动装置(4)驱动的研磨机(2a)对具有待研磨部分(91)例如锥形表面的工件(9)进行研磨。在研磨过程中，向研磨机的研磨表面(21)和待研磨部分(91)供给冷却液。在完成研磨操作之后，在研磨机(2a)离开工件(9)并回到其初始位置的同时继续供给冷却液以清除研磨机上的磨屑。在用于清除磨屑而供给的冷却液压力可以比在研磨操作过程中得到供给时的冷却液压力处于更高的水平。可以对已经得到研磨的工件的数量(N)进行计数，并且仅当工件的数量超过预定值(NC)时才供给用于清除磨屑的冷却液。备选地，当工件的数量未达到预定值(NC)时通过刷洗来清除磨屑。

中国专利公开CN101210171A，涉及一种发动机冷却液，特别是一种低凝固点、抗腐蚀性的发动机用冷却液。该冷却液由以下组分构成：丙三醇、蒸馏水、磷酸钠、磷酸、硝酸钠、硅酸钠、苯丙三氮唑/硼砂。本发明所述冷却液对钢铁、铜、铝都有很好的抗腐蚀性。

CN101215460A一种环保型长效汽车冷却液配方及生产工艺，其配方中含有乙二醇、脱盐水、癸二酸、苯甲酸钠、钼酸钠、硼砂、苯并三氮唑、硅酸钠、氢氧化钠、硅酸盐稳定剂、消泡剂、染色剂；采用反应器A、B、C常温、常压下混合、反应，使生成的冷却液pH值控制在8-9之间；本发明之汽车冷却液，具有防冻结、防沸腾、防腐蚀、防结垢之功效，传热快，冷却效果好，所需原料，市场上容易购得，又无亚硝酸钠等有害物质，降低了对环境和人体的危害，存放期间不会凝胶产生，不会有缓蚀剂析出，具有长效性，该产品制造工艺过程简单，所用设备少，操作容易，所需能源消耗低，生产成本低，易于工业化规模生产，具有很高的推广应用价值，具有很好的市场前景。

以上研磨设备或冷却装置基本上都是独立各自操作的，增加了设备的空间，不易控制。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明的目的之一在于提供一种机械加工用研磨工具，包含研磨头，其特征在于研磨头内含有冷却液通道，研磨过程中，冷却液从研磨通道的通道口喷出，进行研磨时的及时喷淋冷却。

研磨头内还含有内置的温度感应探头，感应探头链接到远端的监控控制单元。

还含有冷却液温度交换装置，通过监控控制单元控制温度交换装置的开通阀，使冷却液通过不同的阀得到所需不同的温度。

开通阀至少设置在两个以上。

温度交换装置的长度根据需要控制温度的高低设置。

冷却液的组成和配比如下(重量百分比)：

本发明所制备的研磨冷却一体化设备，研磨冷却同时进行，不需要额外的冷却喷头，简化工艺，节省空间。

附图说明

图1本发明的研磨工具的连接示意图。1研磨头，2通道，3喷嘴，4温度传感器，5-7开通阀，8温度交换装置，9温度传感线，10开通阀控制线

具体实施方式

实施例一

一种机械加工用研磨工具，包含研磨头1，研磨头内除可含有研磨液通道外，还含有冷却液通道2，研磨过程中，冷却液从研磨通道的通道口(喷嘴3)喷出，进行研磨时的及时喷淋冷却。研磨头内还含有内置的温度感应探头4，感应探头链接到远端的监控控制单元。还含有冷却液温度交换装置8，通过监控控制单元控制温度交换装置的开通阀(5、6或7)，使冷却液通过不同的阀得到所需不同的温度。

研磨液也可采用外置施加方式，而无需在研磨头内含有研磨液通道。附图未对研磨液通道或外加研磨液进行图示。