[发明专利]一种晶体硅铸锭炉有效
申请号: | 201110346536.5 | 申请日: | 2011-11-04 |
公开(公告)号: | CN102383183A | 公开(公告)日: | 2012-03-21 |
发明(设计)人: | 戴煜;羊建高;谭兴龙 | 申请(专利权)人: | 湖南顶立科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 410118 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体 铸锭 | ||
1.一种晶体硅铸锭炉,其特征在于,包括:
炉体;
设置在所述炉体内的坩埚;
位于所述坩埚底部下方的坩埚底板,所述坩埚底板上设置有贯穿坩埚底板的多个导流孔;
位于所述坩埚底板下方的冷却块,所述冷却块设置有至少一个导流槽;
设置于所述冷却块下方的导流管,所述导流槽连通所述导流孔和所述导流管;
所述导流管的腔道上端靠近冷却块位置设置有硅液溢流检测丝,所述检测丝连接所述铸锭炉外部的硅液溢流控制装置。
2.根据权利要求1所述的铸锭炉,其特征在于,所述铸锭炉还包括:
设置所述坩埚底板四周的围板。
3.根据权利要求2所述的铸锭炉,其特征在于,所述多个导流孔成点阵式排布。
4.根据权利要求3所述的铸锭炉,其特征在于,每一行或每一列导流孔下方均有一个与之对应的导流槽。
5.根据权利要求4所述的铸锭炉,其特征在于,所述导流槽是通过设置在其硅液溢流端的硅液溢流口与所述导流管连通的。
6.根据权利要求5所述的铸锭炉,其特征在于,所述导流槽的中间深度最浅,两边深度对称增加。
7.根据权利要求6所述的铸锭炉,其特征在于,每个导流槽两端均设置有一个硅液溢流口,。
8.根据权利要求7所述的铸锭炉,其特征在于,所述硅液溢流检测丝连接及分布方式为:
以任一导流管为参照,在其腔道上端靠近对应硅液溢流口的径向位置设置有一段硅液溢流检测丝;
所述一段硅液溢流检测丝两端分别向下延伸,敷设于导流管管壁内,两端均延伸至隔热笼外;
延伸至隔热笼外的硅液溢流检测丝的一端和接于同一导流槽上的导流管管壁内延伸至隔热笼外的硅液溢流检测丝其中一端连接,实现接在同一导流槽的一对导流管中的硅液溢流检测丝串联,所述一对导流管中的硅液溢流检测丝有两个自由端;
将所有导流管中的硅液溢流检测丝的自由端按照设定的连接顺序串接在一起后,有两个自由端,分别连接硅液溢流控装置的正负极。
9.根据权利要求2所述铸锭炉,其特征在于,所述导流管的腔道为锯齿形腔道。
10.根据权利要求3所述的铸锭炉,其特征在于,所述铸锭炉还包括设置在炉体底部中央的辅助充气口。
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