[发明专利]紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪

权利要求书

1.紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪，其特征在于，该光谱仪包括：ArF激光激发模块、KrF激光激发模块、样品室、荧光探测模块和实验同步控制模块；所述ArF激光激发模块发射并传输ArF激光，入射至样品室；KrF激光激发模块发射并传输KrF激光，入射至样品室；所述激光激发光学薄膜样品产生荧光从样品室出射，入射至荧光探测模块后会聚，并将荧光信号转换成电信号，发送至实验同步控制模块。

2.如权利要求1所述的紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪，其特征在于，所述实验同步控制模块包括：控制电脑(10)和信号延迟发生器(11)；所述控制电脑(10)控制信号延迟发生器(11)向各个模块发射特定的参数信号。

3.如权利要求1所述的紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪，其特征在于，所述ArF激光激发模块包括：ArF准分子激光器(20)、第一快门(21)、第一电控可变衰减器(22)、第一准直扩束镜系统(23)和充N₂气保护管路(24)；所述ArF准分子激光器(20)发射ArF激光，经第一快门(21)，入射至第一电控可变衰减器(22)，由第一电控可变衰减器(22)调节功率后的激光，入射至第一准直扩束镜系统(23)，使长宽比2∶1的入射光变成长宽比1∶1的出射光，进入样品室入射至样品表面；所述充N2气保护管路(24)充N₂气并保护ArF激光激发模块在激光传输过程中不受外界环境污染干扰。

4.如权利要求3所述的紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪，其特征在于，所述充N₂气保护管路(24)在ArF激光激发模块和样品室对应处设有小孔，在ArF准分子激光器(20)入射端和第一准直扩束镜系统(23)出射端分别安装一个窗口片。

5.如权利要求1所述的紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪，其特征在于，所述KrF激光激发模块包括：KrF准分子激光器(30)、第二快门(31)、第二电控可变衰减器(32)和第二准直扩束镜系统(33)；所述KrF准分子激光器(30)发射KrF激光，经第二快门(31)，入射至第二电控可变衰减器(32)，由第二电控可变衰减器(32)调节功率后的激光，入射至第二准直扩束镜系统(33)，使长宽比2∶1的入射光变成长宽比1∶1的出 射光，进入样品室入射至样品表面。

6.如权利要求1所述的紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪，其特征在于，所述样品室由样品夹具(40)、金属腔体(41)和消光器(42)组成；所述样品夹具(40)放置于ArF激光和KrF激光交叉夹角的中心线处；所述消光器(42)用来吸收激发光源的反射和透射的光线，所述金属腔体(41)构成样品室外围，在激光入射和出射处开三处孔。

7.如权利要求6所述的紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪，其特征在于，所述样品夹具(40)能够绕其底座进行180度的旋转。

8.如权利要求1所述的紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪，其特征在于，所述荧光探测模块包括：荧光聚焦系统(50)、荧光单色器(51)和光电探测器(52)；样品被激发所产生的荧光进入荧光聚焦系统(50)，经会聚后进入荧光单色器(51)，由荧光单色器(51)对入射荧光进行分光，所产生的单色光进入光电探测器(52)，所述光电探测器(52)把光信号转换成电信号。