[发明专利]改进的石墨坩埚无效

专利信息
申请号: 201110346873.4 申请日: 2011-11-07
公开(公告)号: CN103088408A 公开(公告)日: 2013-05-08
发明(设计)人: 周兵 申请(专利权)人: 周兵
主分类号: C30B15/10 分类号: C30B15/10;C30B11/00;C30B29/06;F27B14/10
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 胡定华
地址: 226100 江苏省南通市海门*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 改进 石墨 坩埚
【说明书】:

技术领域

     本发明涉及改进的石墨坩埚。

背景技术

     生长硅单晶的装置一般是采用保持原料硅熔体的石英坩埚,其中该坩埚被石墨坩埚包围,该石墨坩埚用来支撑石英坩埚并实现对石英坩埚进行均匀加热,但是现有的石墨坩埚由于结构简单,存在着传热效率低,加热缓慢,加热时间长,能耗消耗大,浪费资源等缺点,不能满足使用者的使用需求。因此,应该提供一种新的技术方案解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是:针对上述不足,提供一种结构合理、传热效率高、加热迅速的改进的石墨坩埚。

为实现上述目的,本发明采用的技术方案是:改进的石墨坩埚,包括坩埚本体,所述坩埚本体的侧表面设有凹槽,所述坩埚本体的底部设有一层保温层,所述坩埚本体的底部设有排气孔。

所述凹槽间隔均匀设置于坩埚本体的侧表面。

所述排气孔至少为1个。

所述排气孔为2个。

  本发明改进的石墨坩埚,坩埚本体的侧表面设有凹槽,设置凹槽是通过增加石墨坩埚外表面积来提高传热面积,可使石墨坩埚的外表面积增加一倍,达到加大传热量,快速加热的目的。坩埚本体的底部设有一层保温层,它对坩埚本体的侧面和底部均起到保温作用,使坩埚内部的材料温度达到一致,从而提高坩埚内材料产品的品质。坩埚本体的底部设有排气孔,其可以排出坩埚内部产生的有害气体,避免其发生变形,延长其使用寿命。

   本发明的优点是:结构合理、传热效率高、加热迅速、使用寿命久。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细叙述。

图1为本发明结构示意图。

其中:1、坩埚本体,2、凹槽,3、保温层,4、排气孔。

具体实施方式

 如图1所示,本发明改进的石墨坩埚,包括坩埚本体1,坩埚本体1的侧表面设有凹槽2,坩埚本体1的底部设有一层保温层3,坩埚本体1的底部2个设有排气孔4,凹槽2间隔均匀设置于坩埚本体1的侧表面。

  本发明改进的石墨坩埚,坩埚本体1的侧表面设有凹槽2,设置凹槽2是通过增加石墨坩埚外表面积来提高传热面积,可使石墨坩埚的外表面积增加一倍,达到加大传热量,快速加热的目的。坩埚本体的底部设有一层保温层3,它对坩埚本体1的侧面和底部均起到保温作用,使坩埚内部的材料温度达到一致,从而提高坩埚内材料产品的品质。坩埚本体1的底部设有排气孔4,其可以排出坩埚内部产生的有害气体,避免其发生变形,延长其使用寿命。

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