[发明专利]改进的石墨坩埚无效
申请号: | 201110346873.4 | 申请日: | 2011-11-07 |
公开(公告)号: | CN103088408A | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 周兵 | 申请(专利权)人: | 周兵 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B11/00;C30B29/06;F27B14/10 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 胡定华 |
地址: | 226100 江苏省南通市海门*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 改进 石墨 坩埚 | ||
技术领域
本发明涉及改进的石墨坩埚。
背景技术
生长硅单晶的装置一般是采用保持原料硅熔体的石英坩埚,其中该坩埚被石墨坩埚包围,该石墨坩埚用来支撑石英坩埚并实现对石英坩埚进行均匀加热,但是现有的石墨坩埚由于结构简单,存在着传热效率低,加热缓慢,加热时间长,能耗消耗大,浪费资源等缺点,不能满足使用者的使用需求。因此,应该提供一种新的技术方案解决上述问题。
发明内容
本发明的目的是:针对上述不足,提供一种结构合理、传热效率高、加热迅速的改进的石墨坩埚。
为实现上述目的,本发明采用的技术方案是:改进的石墨坩埚,包括坩埚本体,所述坩埚本体的侧表面设有凹槽,所述坩埚本体的底部设有一层保温层,所述坩埚本体的底部设有排气孔。
所述凹槽间隔均匀设置于坩埚本体的侧表面。
所述排气孔至少为1个。
所述排气孔为2个。
本发明改进的石墨坩埚,坩埚本体的侧表面设有凹槽,设置凹槽是通过增加石墨坩埚外表面积来提高传热面积,可使石墨坩埚的外表面积增加一倍,达到加大传热量,快速加热的目的。坩埚本体的底部设有一层保温层,它对坩埚本体的侧面和底部均起到保温作用,使坩埚内部的材料温度达到一致,从而提高坩埚内材料产品的品质。坩埚本体的底部设有排气孔,其可以排出坩埚内部产生的有害气体,避免其发生变形,延长其使用寿命。
本发明的优点是:结构合理、传热效率高、加热迅速、使用寿命久。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细叙述。
图1为本发明结构示意图。
其中:1、坩埚本体,2、凹槽,3、保温层,4、排气孔。
具体实施方式
如图1所示,本发明改进的石墨坩埚,包括坩埚本体1,坩埚本体1的侧表面设有凹槽2,坩埚本体1的底部设有一层保温层3,坩埚本体1的底部2个设有排气孔4,凹槽2间隔均匀设置于坩埚本体1的侧表面。
本发明改进的石墨坩埚,坩埚本体1的侧表面设有凹槽2,设置凹槽2是通过增加石墨坩埚外表面积来提高传热面积,可使石墨坩埚的外表面积增加一倍,达到加大传热量,快速加热的目的。坩埚本体的底部设有一层保温层3,它对坩埚本体1的侧面和底部均起到保温作用,使坩埚内部的材料温度达到一致,从而提高坩埚内材料产品的品质。坩埚本体1的底部设有排气孔4,其可以排出坩埚内部产生的有害气体,避免其发生变形,延长其使用寿命。
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