[发明专利]一种等离子体共振传感装置及其应用

权利要求书

1.一种等离子体共振传感装置，其特征在于：包括一个条波导和一个基板，在所述条波导的上表面及所述基板的下表面均镀有一层金属薄膜；且在条波导的上表面所镀的金属薄膜与在基板的下表面所镀的金属薄膜完全对称相同。

2.根据权利要求1所述的等离子体共振传感装置，其特征在于：所述的条波导为单模条波导。

3.根据权利要求1所述的等离子体共振传感装置，其特征在于：所述的金属薄膜为金、银或铝薄膜。

4.根据权利要求1所述的等离子体共振传感装置，其特征在于：所述的金属薄膜层的厚度为30～80nm。

5.根据权利要求1所述的等离子体共振传感装置，其特征在于：所述的金属薄膜层的长度为4～6mm。

6.根据权利要求1所述的等离子体共振传感装置，其特征在于：所述的金属薄膜层采用真空热蒸发镀膜工艺制备而得。

7.一种应用权利要求1所述的等离子体共振传感装置进行的在线检测系统，其特征在于：将被检测介质置于所述传感装置中的两层金属薄膜之间，使形成条波导激励的金属-介质-金属的对称结构。

8.根据权利要求7所述的在线检测系统，其特征在于：包括光源、光纤输入装置、光纤输出装置和光信号处理装置，所述光源与光纤输入装置相连接，所述光纤输出装置与光信号处理装置相连接，且所述光纤与所述等离子体共振传感装置中的条波导采用端面直接耦合对接。