[发明专利]离子注入监测方法

权利要求书

1.一种离子注入监测方法，其特征在于，所述方法包括：

以热波测量晶圆表面从而获得热波值；以及

根据预先确定的热波值与晶圆退火后电阻的关系，确定晶圆的电阻从而监测晶圆的离子注入。

2.根据权利要求1所述的离子注入监测方法，其特征在于，所述预先确定的热波值与晶圆退火后电阻的关系是通过以下步骤确定的：

对晶圆进行退火处理并获得同一注入条件下对应多个偏差的多个电阻值；

对该晶圆进行热波处理，以获得所述同一注入条件下的对应所述多个偏差的热波值；

获得所述热波值与所述电阻值之间的关系。

3.根据权利要求1或2所述的离子注入监测方法，其特征在于，所述热波值与所述电阻值之间呈线性关系。

4.根据权利要求3所述的离子注入监测方法，其特征在于，所述晶圆为监测晶圆。