[发明专利]连续沉积装置有效
申请号: | 201110347681.5 | 申请日: | 2011-11-07 |
公开(公告)号: | CN102644059A | 公开(公告)日: | 2012-08-22 |
发明(设计)人: | 林永昌;李济玩;李星昊;朴成镐;崔完旭;郑锡宪 | 申请(专利权)人: | 三星SDI株式会社 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C16/54;C23C14/04;C23C16/04;H01M4/04;H01M4/139 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 张波 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 连续 沉积 装置 | ||
1.一种连续沉积装置,包括:
第一引导鼓,接触从拆卷机供应的电极集电器的第一表面,以支撑所述电极集电器;
第一沉积源,邻近所述第一引导鼓以将活性材料供应到在所述第一引导鼓上传递的所述电极集电器;
第一遮蔽单元,遮蔽在所述第一引导鼓上传递的所述电极集电器的一部分以形成非涂覆部分;
第一驱动单元,连接到所述第一遮蔽单元以使所述第一遮蔽单元沿所述第一引导鼓的外表面往复移动;
第一引导单元,邻近且连接到所述第一遮蔽单元以支持所述第一遮蔽单元的移动;以及
第二驱动单元,连接到所述第一引导单元,以使所述第一引导单元在一方向上水平地往复移动,该方向垂直于通过所述第一驱动单元移动的所述第一遮蔽单元的移动方向。
2.如权利要求1所述的连续沉积装置,还包括:
卷绕机,卷绕从所述第一引导鼓排出的所述电极集电器;和
腔室,具有容纳所述第一引导鼓、所述第一沉积源、所述第一遮蔽单元、所述第一驱动单元、所述第二驱动单元和所述第一引导单元的容纳空间。
3.如权利要求1所述的连续沉积装置,还包括:
第二引导鼓,接触从所述第一引导鼓排出的所述电极集电器的第二表面,以支撑所述电极集电器;
第二沉积源,邻近所述第二引导鼓以将活性材料供应到在所述第二引导鼓上传递的所述电极集电器;
第二遮蔽单元,遮蔽在所述第二引导鼓上传递的所述电极集电器的一部分以形成非涂覆部分;
第三驱动单元,连接到所述第二遮蔽单元以使所述第二遮蔽单元沿所述第二引导鼓的外表面往复移动;
第二引导单元,邻近并连接到所述第二遮蔽单元以支持所述第二遮蔽单元的移动;以及
第四驱动单元,连接到所述第二引导单元以使所述第二引导单元在一方向上水平地往复移动,该方向垂直于通过所述第三驱动单元移动的所述第二遮蔽单元的移动方向。
4.如权利要求3所述的连续沉积装置,还包括:
卷绕机,卷绕从所述第一引导鼓排出的所述电极集电器;和
腔室,具有容纳所述第一引导鼓、所述第一沉积源、所述第一遮蔽单元、所述第一驱动单元、所述第二驱动单元、所述第一引导单元、所述第二引导鼓、所述第二沉积源、所述第二遮蔽单元、所述第三驱动单元、所述第四驱动单元和所述第二引导单元的容纳空间。
5.如权利要求4所述的连续沉积装置,其中所述第一引导鼓和所述第二引导鼓连接到冷却器件。
6.如权利要求1所述的连续沉积装置,其中所述第一遮蔽单元包括:
第一遮蔽板,具有板形状,该板形状以与所述第一引导鼓的曲率相同的曲率弯曲,所述第一遮蔽板与所述第一引导鼓的所述外表面间隔开;以及
第一耦接板,具有条形,包括在所述第一耦接板的与所述第一引导鼓相反的一侧上的第一突起,并具有连接到所述第一遮蔽板的第一侧部分的一端。
7.如权利要求6所述的连续沉积装置,其中所述第一引导鼓的外表面与所述第一遮蔽板之间的距离在从1mm至20mm的范围。
8.如权利要求6所述的连续沉积装置,其中所述第一遮蔽板在宽度和长度上比形成在所述电极集电器上的所述非涂覆部分大。
9.如权利要求6所述的连续沉积装置,其中所述第一驱动单元包括:
第一电机,具有与所述第一引导鼓相同的角速度;以及
第一传动装置,配置为将由所述第一电机产生的动力传到所述第一遮蔽单元。
10.如权利要求9所述的连续沉积装置,其中所述第一传动装置包括:
至少一个第一从动齿轮,与所述第一电机的齿轮啮合;
第一连接架,具有一端连接到所述第一从动齿轮的条形;以及
第一耦接架,具有管形的内部空间,该管形具有连接到所述第一连接架的另一端的表面,
其中所述第一耦接板可移动地插入所述第一耦接架的所述内部空间中。
11.如权利要求6所述的连续沉积装置,其中所述第一引导单元包括:
第一主体,具有以与所述第一引导鼓的曲率相同的曲率弯曲的条形,所述第一主体包括在面对所述第一引导鼓的表面上纵向延伸的第一凹槽;以及
至少一个第一连接条,连接到所述第一主体的一表面,
其中所述第一突起可移动地耦接到所述第一凹槽。
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