[发明专利]正型光敏树脂组合物，利用其制备的光敏树脂膜，和包括该光敏树脂膜的半导体器件

权利要求书

1.一种正型光敏树脂组合物，包括

(A)碱溶性树脂；

(B)包括由以下化学式6表示的化合物的溶解控制剂；

(C)光敏重氮醌化合物；

(D)硅烷化合物；和

(E)溶剂；

[化学式6]

其中，在化学式6中，

Z¹和Z²相同或不同，并且各自独立地是单键、-O-、-CO-、-CONH-、-S-、-SO₂-、取代的或未取代的C1至C10亚烷基氧基-OR²⁰³-，其中R²⁰³是取代的或未取代的亚烷基，或取代的或未取代的C6至C15亚芳基氧基-OR²⁰⁴-，其中R²⁰⁴是取代的或未取代的亚芳基，

G¹是氢、取代的或未取代的C1至C30脂肪族有机基团、取代的或未取代的C3至C30脂环族有机基团、取代的或未取代的C6至C30芳香族有机基团、取代的或未取代的C2至C30杂环基团、或-T¹-R³⁰⁰，其中T¹是单键、-O-、-CO-、-CONH-、-S-、-SO₂-、取代的或未取代的C1至C10亚烷基氧基-OR³⁰¹-，其中R³⁰¹是取代的或未取代的亚烷基)，或取代的或未取代的C6至C15亚芳基氧基-OR³⁰²-，其中R³⁰²是取代的或未取代的亚芳基，且R³⁰⁰是取代的或未取代的C1至C30脂肪族有机基团、取代的或未取代的C3至C30脂环族有机基团、取代的或未取代的C6至C30芳香族有机基团、或者取代的或未取代的C2至C30杂环基团，

R⁷和R⁸相同或不同，并且各自独立地是氢、或者取代的或未取代的C1至C30脂肪族有机基团，

n1是0至5的整数，

n2是0至4的整数，以及

n3是0至10的整数。

2.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，由上述化学式6表示的化合物包括由以下化学式6a至化学式6f表示的化合物、或它们的组合：

[化学式6a]

[化学式6b]

[化学式6c]

[化学式6d]

[化学式6e]

[化学式6f]

其中，在化学式6a至6f中，

T²至T¹¹相同或不同，并且各自独立地是单键、-O-、-CO-、-CONH-、-S-、-SO₂-、取代的或未取代的C1至C10亚烷基氧基-OR⁴⁰⁰-，其中R⁴⁰⁰是取代的或未取代的亚烷基，或取代的或未取代的C6至C15亚芳基氧基-OR⁴⁰¹-，其中R⁴⁰¹是取代的或未取代的亚芳基。

3.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，由上述化学式6表示的化合物包括由以下化学式40至45表示的化合物、或它们的组合：

[化学式40]

[化学式41]

[化学式42]

[化学式43]

[化学式44]

[化学式45]

4.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述碱溶性树脂是聚苯并噁唑前体。