[发明专利]一种用于复合波片光轴对准的装夹装置

权利要求书

1.一种用于复合波片对准的装夹装置，其特征在于，该装置包括电控旋转台（18）、固定波片卡盘（19）和旋转波片卡盘（20）；

波片支架（17）安装在电控旋转台（18），固定波片卡盘（19）与电控旋转台（18）基座连在一起，旋转波片卡盘（20）与电控旋转台（18）转盘连在一起，使用时，将安装有晶片（3）的波片支架（17）安装在固定波片卡盘（19）和旋转波片卡盘（20）上。

2.根据权利要求1所述的用于复合波片对准的装夹装置，其特征在于，波片支架（17）包括支架主体（1）、垫圈（2）和波片定位孔（4）；支架主体（1）上开有波片定位孔（4），使用于波片通过垫圈（2）安装在支架主体（1）上。

3.根据权利要求1或2所述的用于复合波片对准的装夹装置，其特征在于，电控旋转台（18）包括转盘（5）、旋转台基座（6）、步进电机（9）和控制器（10）；转盘（5）上开有用于固定工件的工件定位孔（8），中间还开有用于透光的通孔，旋转台基座（6）内装有传动装置，是旋转台的主体部分；旋转台基座（6）上开有台阶孔（7），用于连接固定波片卡盘（19），转盘（5）与旋转台基座（6）相连；控制器（10）与步进电机（9）相连。

4.根据权利要求1或2所述的用于复合波片对准的装夹装置，其特征在于，固定波片卡盘（19）包括支柱（11）、固定波片定位孔（12）和固定波片放置台（13）；支柱（11）用于将固定波片卡盘（19）与旋转台基座（6）相连；固定波片定位孔（12）与支架（17）上的波片定位孔（4）相对应。

5.根据权利要求1或2所述的用于复合波片对准的装夹装置，其特征在于，旋转波片卡盘（20）包括旋转波片定位孔（14）、转盘定位孔（15）和旋转波片放置台（16）；

旋转波片定位孔（14）与支架（17）上的波片定位孔（4）相对应，通过此定位孔，使波片与旋转波片卡盘固定；转盘定位孔（15）使卡盘（20）与转盘（5）连在一起，使之与转盘一起运动。