[发明专利]用于带电粒子束系统的环境单元

权利要求书

1.一种带电粒子束系统，包括：

带电粒子源；

粒子光学镜筒，其用于产生聚焦粒子束并朝着样本指引所述束，粒子束光学镜筒具有光轴、可抽空样本室；

位于可抽空室中的运动镜台，该运动镜台能够相对于光轴移动；

单元，其用于包含用于处理的样本，该单元包括：

    位于所述镜台上且能够随着镜台移动的单元的至少一部分；

    用于向单元中引入气体的至少一个进气口；以及

    在镜台的运动期间相对于粒子光学镜筒被固定的单元的至少一部分。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其中，所述单元包括用于在能够随着镜台移动的单元部分与相对于粒子光学镜筒被固定的单元部分之间进行密封的密封件。

3.根据权利要求2所述的带电粒子束系统，其中，所述密封件包括相对于粒子光学镜筒被固定的第一扁平表面和从位于镜台上的单元部分延伸的第二扁平表面，两个扁平表面形成减少从单元内部至可抽空室的气流的密封。

4.根据权利要求3所述的带电粒子束系统，其中，第一扁平表面被安装到粒子光学镜筒的透镜上。

5.根据权利要求3所述的带电粒子束系统，其中，所述第一扁平表面和所述第二扁平表面包括不锈钢、铝或诸如聚四氟乙烯的含氟聚合物。

6.根据权利要求3所述的带电粒子束系统，其中，所述第一扁平表面和所述第二扁平表面在不使用弹性体的情况下密封。

7.根据权利要求3所述的带电粒子束系统，其中，所述密封件是接触密封件。

8.根据权利要求3所述的带电粒子束系统，其中，所述密封件是小于1mm的间隙。

9.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其中，所述单元包括柔性部分以允许能够随着镜台移动的单元部分与相对于粒子光学镜筒被固定的单元部分之间的垂直移动。

10.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其中，所述单元包括光子透明窗口。

11.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其中，能够在不打开可抽空室的情况下使相对于粒子光学镜筒被固定的单元部分缩回。

12.根据权利要求11所述的带电粒子束系统，还包括用于检测在电子束撞击时从样本发射的辐射的辐射检测器。

13.根据权利要求12所述的带电粒子束系统，其中，所述辐射检测器检测x射线以用于x射线分析或检测光以用于发光分析。

14.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其中，所述单元包括用于将样本加热的加热器。

15.根据权利要求14所述的带电粒子束系统，其包括用于将位于镜台上的单元部分冷却的冷却器。

16.根据权利要求14所述的带电粒子束系统，其包括用于将相对于粒子光学镜筒被固定的单元部分冷却的冷却器。

17.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其中，所述单元包括用于将样本冷却的冷却器。

18.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，还包括能够用在频率范围内的辐射照射样本以执行光致发光分析或光电子产额光谱术的辐射源。

19.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其中，所述单元还包括检测器电极，所述检测器电极用于检测被气体级联放大所放大的来自样本的电子信号。

20.一种带电粒子束处理的方法，包括：

提供带电粒子束系统，其具有：

    可抽空室；

    运动镜台；

    聚焦镜筒；以及

    光轴；

提供环境单元，其位于所述可抽空室内部，用于在气体环境中处理样本，所述环境单元位于运动镜台上且包括限压光阑；

在保持相对于光轴被固定的限压光阑的同时移动镜台。

21.根据权利要求20所述的方法，其中，移动镜台包括相对于密封构件移动环境单元的密封部分，所述密封构件被相对于限压光阑固定。