[发明专利]一种盘旋式金属间电容结构及其布局

权利要求书

1.一种盘旋式金属电容结构，其特征在于，包括至少一个金属层，金属层内包括第一电极和第二电极，第一电极与第二电极形状相同并均呈平面螺旋结构；所述第一电极与第二电极中心对称排布；所述第一电极和第二电极之间填充有绝缘介电材料。

2.根据权利要求1所述的盘旋式金属电容结构，其特征在于，所述第一电极与第二电极均为圆弧形、或多边形平面螺旋结构。

3.根据权利要求2所述的盘旋式金属电容结构，其特征在于，所述第一电极与第二电极均为四边形、五边形或六边形平面螺旋结构。

4.根据权利要求1所述的盘旋式金属电容结构，其特征在于，包括至少一个奇数金属层和至少一个偶数金属层。

5.根据权利要求4所述的盘旋式金属电容结构，其特征在于，奇数金属层内的第一电极旋与相邻偶数金属层内的第二电极对齐。

6.根据权利要求4所述的盘旋式金属电容结构，其特征在于，相邻的金属层之间填充有绝缘介电材料层。

7.一种盘旋式金属电容结构，其特征在于，包括至少一个奇数金属层和至少一个偶数金属层，所述奇数金属层内包括第一电极，所述偶数金属层内包括第二电极；所述第一电极和第二电极均为平面螺旋结构，电极螺旋线之间的空隙中填充有绝缘材料；

所述第一电极绕其中心轴旋转180度后与相邻金属层中的第二电极对齐；相邻金属层之间填充有绝缘介电材料层。

8.一种盘旋式金属电容结构，其特征在于，包括至少一个奇数金属层和至少一个偶数金属层，所述奇数金属层内包括第一电极，所述偶数金属层内包括第一电极；各金属层内所述第一电极均为平面螺旋结构，电极螺旋线之间的空隙中填充有绝缘材料；

各金属层中的第一电极对齐；相邻金属层之间填充有绝缘介电材料层。

9.一种盘旋式金属电容结构，其特征在于，包括至少一个金属层，金属层内包括第一电极，第一电极呈平面螺旋结构；所述平面螺旋结构空隙之间填充有绝缘介电材料。