[发明专利]在低压力下进行等离子体感应涂覆的方法和设备

权利要求书

1.在低压力下等离子体涂覆憎水和憎油聚合层的方法，所述方法包括步骤：

-提供具有表面的衬底；

-将包括1H，1H，2H，2H-全氟癸基丙烯酸酯的化合物蒸发到惰性气体流内；

-在蒸发到所述气体流内期间保持所述化合物恒温；

-将所述表面暴露给气体和化合物的混合物；

-将所述表面暴露给气体和化合物的混合物中产生的连续波等离子体，具有等离子体电路提供的等离子体功率。

2.根据权利要求1的方法，所述方法还包括步骤：

-将所述化合物引入容器内并在容器中形成液-气界面；

-将惰性气体流引入容器内并位于所述液-气界面上方；

-在所述液-气界面的上方提取气体和蒸发的化合物的混合物。

3.根据权利要求2的方法，其中所述惰性气体流在引入到容器中之前加热到预定温度。

4.根据权利要求2或3的方法，其中恒定的电压提供给容器中提供的一个或多个PTC型电阻元件。

5.根据权利要求4的方法，还包括下述步骤：

-在蒸发期间测量PTC元件的耗用电流和/或电阻；

-当耗用电流低于预定阈值和/或PTC元件的电阻高于预定阈值时将预定量的液体化合物引入容器中。

6.根据权利要求5的方法，其中PTC元件具有在110和150摄氏度之间的T_NTT或平衡温度，T_NTT优选在130摄氏度。

7.用于向表面涂覆由包括液态1H，1H，2H，2H-全氟癸基丙烯酸酯的化合物产生的等离子体感应聚合层的设备，所述设备包括低压力等离子体室、蒸发器、及用于将其中具有一定量所述化合物的惰性气体流馈入所述等离子体室的供应系统，所述蒸发器包括其中具有一定量液态化合物从而形成化合物-惰性气体界面的容器，惰性气体流通过所述界面上方提供的入口向所述容器提供，惰性气体经所述界面上方提供的出口从所述容器抽出，其中加热元件提供在所述界面的下面并与液态化合物接触。

8.根据权利要求7的设备，其中所述加热元件包括至少一具有T_NTT温度的PTC电阻器。

9.根据权利要求8的设备，其中多个PTC电阻器提供在所述容器内部且并联电连接及自连接到所述容器外面的电源的电导体悬挂。

10.根据权利要求7的设备，其中控制电子器件包括可编程计算机装置、PLC或适于控制电源的类似装置、控制单体化合物提供到所述室内的阀、及控制惰性气体流过所述容器的阀。