[发明专利]一种复合波片光轴对准方法及装置

权利要求书

1.一种复合波片光轴对准方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：

第1步将线偏振光垂直投射到待对准复合波片的一片晶片上，并从复合波片的另一片晶片垂直出射；

第2步利用探测器接受从所述另一片晶片垂直出射的透射光强信号，线偏振光经过待对准复合波片后偏振态会发生变化，所述透射光强信号中包含有待对准复合波片的实际相位延迟信息；

第3步由第2步得到的透射光强信号可进一步获得待对准复合波片的实际相位延迟；

第4步将第3步得到的复合波片的实际相位延迟与理想相位延迟比较，得到在存在对准误差α时复合波片的相位延迟波动量；

第5步计算在要求的对准精度α₀下复合波片相位延迟波动量的变化幅值A(α₀)；

第6步固定复合波片的一片晶片，根据实时得到的复合波片相位延迟波动量变化幅值A(α)与A(α₀)的相对大小转动另外一片晶片，直至满足：

A(α)≤A(α₀)

这样将两片晶片光轴的对准误差控制到α≤α₀。

2.一种复合波片光轴对准装置，其特征在于，该装置包括光源(11，起偏器(12)，固定波片卡盘(13)，旋转波片卡盘(14)，旋转检偏器(15)，探测器(16)，电控旋转台(17)，计算机(18)，步进电机(19)和电控旋转台控制器(20)；光源(11)，起偏器(12)，电控旋转台(17)，旋转检偏器(15)和探测器(16)依次位于同一光路上；电控旋转台(17)位于起偏器(12)和旋转检偏器(15)之间，且固定波片卡盘(13)与旋转波片卡盘(14)的晶片装载平面相互平行，二者垂直于入射光束；探测器(16)和计算机(18)相连。