[发明专利]用于光纤加速度计的低蠕变光纤盘及其制作方法

权利要求书

1.一种用于光纤加速度计的低蠕变光纤盘，其特征在于：在晶体盘（1）两面光刻有微型凸台（10），在微型凸台间形成螺旋式的凹槽，凹槽内用胶体固定单层裸光纤（2），在晶体盘（1）两面分别形成对称布置的第一光纤盘（16）和第二光纤盘（17）。

2.根据权利要求1所述的一种用于光纤加速度计的低蠕变光纤盘，其特征在于：所述的微型凸台的高度为h微米，则微型凸台的宽度w为                                                微米，其中为裸光纤直径，单位为微米，光纤盘内径减去w/2所得的尺寸作为起始微型凸台中心线的位置，相邻两微型凸台中心线间距离均为微米。

3.按权利要求1所述的一种用于光纤加速度计的低蠕变光纤盘的制作方法，其特征在于，该方法的步骤如下：

1）除去光纤的外涂敷层得到裸光纤（2）；

2）在第一挡板（8）的一面涂有易溶于有机溶剂的胶体，并用第一挡板（8）涂有易溶于有机溶剂的胶体的一面与中心有凸台（21）的第二挡板（9）组成绕裸光纤环的两定位面，两定位面间距离由凸台（21）决定，用绕线机将裸光纤（2）沿凸台（21）外径，凸台（21）外径即光纤盘内径（5）以螺旋式单层布满两定位面之间，形成第一光纤盘（16）；

3）从绕线机上取下中间有第一光纤盘（16）的两定位面，加热固化易溶于有机溶剂的胶体；

4）在晶体盘前表面（3）上用光刻的方法制作微型凸台（10），在螺旋式的凹槽内甩涂一层不溶于有机溶剂的胶体；

5）将固化后的第二挡板（9）移除，将带有第一光纤盘（16）的第一挡板（8）与晶体盘一面（3）贴合并固化晶体盘（1）与裸光纤（2）之间的不溶于有机溶剂的胶体；

6）用有机溶剂丙酮浸泡去除第一挡板（8）上的易溶于有机溶剂的胶体，使第一光纤盘（16）与第一挡板（8）脱离；

7）重复上述1）、2）的步骤得到第二光纤盘（17），再利用它重复3）-6）的步骤得到两面粘好裸光纤的晶体盘（1）。

4.按权利要求3所述的一种用于光纤加速度计的低蠕变光纤盘的制作方法，其特征在于：所述的易溶于有机溶剂的胶体为丙烯酸酯，所述的不溶于有机溶剂的胶体为紫外固化胶。